申请/专利权人：焦金文

申请日：2020-06-03

公开（公告）日：2021-04-23

公开（公告）号：CN213033094U

主分类号：B08B3/02(20060101)

分类号：B08B3/02(20060101);B08B13/00(20060101);H01L21/67(20060101);F26B21/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种集成电路用蚀刻网刷洗装置，包括清洗壳体，所述清洗壳体顶部外壁一侧转动连接有等距离分布的旋转轴，且旋转轴圆周外壁底部套接有第二橡胶辊，所述清洗壳体一侧外壁转动连接有螺纹杆，且螺纹杆一侧外壁转动连接有固定架，所述固定架顶部和底部内部转动连接有等距离分布的转动轴，转动轴圆周外壁套接有第一橡胶辊，清洗壳体两端外壁均开设有矩形槽。本实用新型中，通过设置有旋转轴、第二橡胶辊、传送皮带和步进电机，能够对固定后的蚀刻网进行输送，通过设置有储水壳体、抽水泵、出液管和喷液管上的喷液嘴，能够对蚀刻网两侧进行喷淋清洗，减少了工作人员的工作量，提高了刷洗效率。

主权项：1.一种集成电路用蚀刻网刷洗装置，包括清洗壳体（2），其特征在于，所述清洗壳体（2）顶部外壁一侧转动连接有等距离分布的旋转轴（7），且旋转轴（7）圆周外壁底部套接有第二橡胶辊（14），所述清洗壳体（2）一侧外壁转动连接有螺纹杆（8），且螺纹杆（8）一侧外壁转动连接有固定架（10），所述固定架（10）顶部和底部内部转动连接有等距离分布的转动轴（12），转动轴（12）圆周外壁套接有第一橡胶辊（11），清洗壳体（2）两端外壁均开设有矩形槽，清洗壳体（2）两侧外壁两端均安装有支撑腿（3），清洗壳体（2）两端内壁安装有同一个弧形放置板（13）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 焦金文 一种集成电路用蚀刻网刷洗装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD