申请/专利权人：宝山钢铁股份有限公司

申请日：2019-10-25

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112708855A

主分类号：C23C14/26(20060101)

分类号：C23C14/26(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.02.10#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明公开了一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置，包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体顶部连有镀膜喷嘴，所述蒸汽管道上设有调压阀；所述稳压板设置为多孔结构；所述布流箱体与所述蒸汽管道连接位置上设有导流柱，所述导流柱位于所述稳压板的下方，且所述导流柱径向截面面积S导流与所述蒸汽管道径向截面面积S入口之比大于等于0.1，即：S导流S入口≥0.1。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。

主权项：1.一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置，其特征在于：包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有一水平向设置的稳压板，所述布流箱体顶部连有镀膜喷嘴，所述蒸汽管道上设有调压阀；所述稳压板设置为多孔结构；所述布流箱体与所述蒸汽管道连接位置上方设有导流柱，所述导流柱位于所述稳压板的下方，且所述导流柱径向截面面积S导流与所述蒸汽管道径向截面面积S入口之比大于等于0.1，即：S导流S入口≥0.1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宝山钢铁股份有限公司 一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置

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