申请/专利权人：微控物理储能研究开发(深圳)有限公司

申请日：2020-12-02

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112709778A

主分类号：F16F15/02(20060101)

分类号：F16F15/02(20060101);F16F15/023(20060101);F16F15/04(20060101);F16F15/06(20060101);F16M5/00(20060101);G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.06.17#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明涉及一种减震光刻机及其减震方法，所述减震光刻机包括被动隔振装置、设于所述被动隔振装置上的飞轮减震装置、设于所述飞轮减震装置上的光刻机以及与所述被动隔振装置和所述飞轮减震装置电连接的控制系统，所述飞轮减震装置包括支撑所述光刻机且与所述被动隔振装置连接的第一平台、与所述第一平台远离所述光刻机一侧相连的至少三个第一飞轮以及与所述第一飞轮输出端电连接的双向逆变器，三个第一飞轮的中心轴均不平行，双向逆变器与所述光刻机的输入端电连接，所述控制系统包括若干传感器以及与所述传感器和第一飞轮电连接的控制器。通过以上方式，可以完全消减被动隔振装置的带宽限制，消除光刻机的摆动，同时大大削弱了线性震动。

主权项：1.一种减震光刻机，其特征在于，包括：被动隔振装置、设于所述被动隔振装置上的飞轮减震装置、设于所述飞轮减震装置上的光刻机以及与所述被动隔振装置和所述飞轮减震装置电连接的控制系统，所述飞轮减震装置包括支撑所述光刻机且与所述被动隔振装置连接的第一平台、与所述第一平台远离所述光刻机一侧相连的至少三个第一飞轮以及与所述第一飞轮输出端电连接的双向逆变器，三个所述第一飞轮的中心轴均不平行，所述双向逆变器与所述光刻机的输入端电连接，所述控制系统包括若干传感器以及与所述传感器电连接的控制器，所述控制器与所述第一飞轮电连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 微控物理储能研究开发(深圳)有限公司 减震光刻机及其减震方法

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