申请/专利权人：中北大学南通智能光机电研究院

申请日：2020-12-10

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112710292A

主分类号：G01C19/02(20060101)

分类号：G01C19/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.01#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明属于微机械陀螺技术领域，具体涉及一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构，包括玻璃基板、支撑结构、驱动质量块、检测质量块、第一支撑梁、第二支撑梁、驱动导线、驱动反馈导线、第一调节电极、第二调节电极、第三调节电极、第四调节电极、导线圈，所述支撑结构通过阳极键合固定在玻璃基板上，所述第一支撑梁、第二支撑梁均有四个，所述支撑结构通过四个第一支撑梁连接有驱动质量块，所述驱动质量块通过四个第二支撑梁连接有检测质量块，所述驱动质量块的两侧分别设置有驱动导线、驱动反馈导线。本发明微机械陀螺结构设计合理、接口电路简单、检测精度高，可解决角速率信号检测的难题。

主权项：1.一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构，其特征在于：包括玻璃基板1、支撑结构2、驱动质量块3、检测质量块4、第一支撑梁5、第二支撑梁6、驱动导线7、驱动反馈导线8、第一调节电极9、第二调节电极10、第三调节电极11、第四调节电极12、导线圈13，所述支撑结构2通过阳极键合固定在玻璃基板1上，所述第一支撑梁5、第二支撑梁6均有四个，所述支撑结构2通过四个第一支撑梁5连接有驱动质量块3，所述驱动质量块3通过四个第二支撑梁6连接有检测质量块4，所述驱动质量块3的两侧分别设置有驱动导线7、驱动反馈导线8，所述驱动质量块3分别连接有第一调节电极9、第二调节电极10、第三调节电极11、第四调节电极12，所述检测质量块4上设置有导线圈13。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中北大学南通智能光机电研究院 一种基于隧道磁阻检测的频率可调谐微机械陀螺结构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD