申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司

申请日：2020-12-16

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112713114A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.19#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆箱的防呆结构，所述晶圆箱放置于载台上，晶圆箱底部镂空；在晶圆箱的侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆，在晶圆箱开口的两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度；所述在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块；所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。本发明通过在晶圆箱铁扣活动范围的适当位置设置适当大小的防呆块，当铁扣打开时能顶起晶圆箱，使得内部设置的传感器能感应到晶圆箱的不同状态，从而发出对应的警示功能，防止机械手取放晶圆时发生意外的碰撞事故，达到防呆的目的。

主权项：1.一种晶圆箱的防呆结构，其特征在于：所述晶圆箱为一箱体结构，放置于载台上，晶圆箱底部镂空；在晶圆箱的侧面具有一开口，供机械手或者操作人员取放晶圆，在晶圆箱开口的两侧，各具有一个门状的铁扣；所述门状的铁扣能门轴为轴心向内旋转并贴合于晶圆箱的内壁，或者是向外旋转打开至少90度；所述在晶圆箱开口处的载台上，两侧各对应设置有一个防呆块；所述晶圆箱内部的底面上，即载台上，还设置有一传感器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 晶圆箱的防呆结构

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