申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司
申请日:2020-12-28
公开(公告)日:2021-04-27
公开(公告)号:CN112713157A
主分类号:H01L27/12(20060101)
分类号:H01L27/12(20060101);H01L27/32(20060101);H01L21/84(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开
摘要:本申请提供了一种阵列基板、显示面板以及阵列基板的制备方法,该阵列基板包括:衬底;第一绝缘层,与所述衬底层层叠设置;多个氧化物晶体管,位于所述衬底设置有所述第一绝缘层一侧;其中,所述第一绝缘层中含有氢离子,所述氧化物晶体管在所述衬底上的正投影与所述第一绝缘层在所述衬底上的正投影错开。该设计方式可以避免第一绝缘层中的氢离子在后续高温等工艺过程中入侵到氧化物晶体管中,从而可以提高氧化物晶体管的稳定性。
主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底;第一绝缘层,与所述衬底层层叠设置;多个氧化物晶体管,位于所述衬底设置有所述第一绝缘层一侧;其中,所述第一绝缘层中含有氢离子,所述氧化物晶体管在所述衬底上的正投影与所述第一绝缘层在所述衬底上的正投影错开。
全文数据:
权利要求:
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