申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2016-04-05

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112713111A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);H01L21/677(20060101);H01L21/683(20060101);B07C5/10(20060101);B07C5/342(20060101);B07C5/344(20060101);G01B11/00(20060101);G01N21/64(20060101);G01N21/95(20060101)

优先权：["20150429 US 62/154,521"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本公开内容的实施方式一般涉及可扩展的基板检查系统。所述检查系统包括适于检查、检测或者测量基板的一种或多种特征包括厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污点、碎片、微裂纹以及晶体片段的多个计量单元。检查系统可用于在处理基板之前辨识基板上的缺陷并估计单元效率。可将基板传送通过检查系统和或在轨道或输送装置上的计量单元之间传送，然后基于检查数据通过与高速旋转分拣装置耦接的至少一个夹持器分拣到相应仓中。旋转分拣装置维持每小时至少5400个基板的分拣能力。每个仓可任选地具有气体支撑垫，此气体支撑垫用于在基板从旋转分拣装置落入相应仓中时支撑基板。

主权项：1.一种用于检查和分拣多个基板的装置，所述装置包括：分拣单元；可旋转支撑件，所述可旋转支撑件设置在所述分拣单元内，所述可旋转支撑件能够绕旋转轴旋转；多个臂，每个臂具有耦接至所述可旋转支撑件的第一端和从所述可旋转支撑件相对于所述旋转轴径向向外延伸的第二端；至少一个夹持器，所述至少一个夹持器耦接至每个臂的所述第二端；多个仓，所述多个仓位于所述分拣单元内，且位于所述至少一个夹持器随着所述可旋转支撑件旋转而行进所沿的路径下方；以及多个气体出口，所述多个气体出口的至少第一气体出口经定位以分配气体，以利用所述多个仓中的第一仓来提供支撑垫，所述支撑垫足以向从所述多个夹持器释放并落入所述第一仓中的基板提供阻力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 高速旋转分拣器

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