申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司

申请日：2020-12-28

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112707343A

主分类号：B66F9/22(20060101)

分类号：B66F9/22(20060101);B66F9/12(20060101);B66F9/14(20060101);B66F9/08(20060101);B66F9/075(20060101);C23C14/56(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构，叉车式移载装置包括：底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端，第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于底座的第二端，左右调节组件，连接于竖直升降机构；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，第二方向垂直于第一方向及垂直竖直方向，承重货叉包括沿第一方向延伸的叉臂，叉臂的面对底座的一侧设有吊勾；及向结构，设置于镀膜工艺室的下方，用于与所述底座的导向部配合，以引导车式移载装置朝向镀膜工艺室移动并限定所叉车式移载装置的移动位置，较传统天车，对厂房的结构强度和高度的要求较低。

主权项：1.一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，包括叉车式移载装置、及导向结构，其中所述叉车式移载装置包括：底座,所述底座在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于所述底座的第二端，左右调节组件，连接于所述竖直升降机构，以在所述竖直升降机构的驱动下沿竖直方向升降；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向及垂直于所述竖直方向，其中所述承重货叉包括至少一根沿所述第一方向延伸的叉臂，所述叉臂的面对所述底座的一侧设有吊勾；及所述导向结构设置于镀膜工艺室的下方，所述导向结构用于与所述底座的导向部配合，以引导所述叉车式移载装置朝向所述镀膜工艺室移动并限定所述叉车式移载装置的移动位置。

全文数据：

权利要求：

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