申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112708868A

主分类号：C23C16/24(20060101)

分类号：C23C16/24(20060101);C23C16/54(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明公开了镀膜设备，可用于在热丝化学气相沉积法中对衬底进行镀膜，所述镀膜设备包括至少两条用于对所述衬底进行镀膜的工艺线，所述工艺线通过传输装置连接，所述工艺线当中，包括一条第一工艺线，并且，在所述第一工艺线中，作为镀膜腔仅设置有用于在所述衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜的第一镀膜腔。根据根据本发明的镀膜设备，由于使用一条独立的工艺线即第一工艺线对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜，因此能够防止在对衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜时和其他镀膜工艺之间产生交叉污染。

主权项：1.镀膜设备，可用于在热丝化学气相沉积法中对衬底进行镀膜，其特征在于，所述镀膜设备包括至少两条用于对所述衬底进行镀膜的工艺线，所述工艺线通过传输装置连接，所述工艺线当中，包括一条第一工艺线，并且，在所述第一工艺线中，作为镀膜腔仅设置有用于在所述衬底的一面镀P型掺杂硅基薄膜的第一镀膜腔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 镀膜设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD