申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-01-04

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112707016A

主分类号：B65D25/02(20060101)

分类号：B65D25/02(20060101);B65D25/10(20060101);B65D85/30(20060101);B65D81/18(20060101);B65D81/05(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.02.17#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，提出了一种光罩保护装置及光罩保护系统。光罩保护装置包括框架和保护膜，框架用于设置在光罩的基板上，框架上设置有夹持空间；保护膜的边沿固定于夹持空间内。通过将保护膜的边沿固定于框架的夹持空间内，从而可以增加框架对保护膜的固定效果，以此防止保护膜脱离框架。

主权项：1.一种光罩保护装置，其特征在于，包括：框架30，所述框架30用于设置在光罩的基板10上，所述框架30上设置有夹持空间31；保护膜40，所述保护膜40的边沿固定于所述夹持空间31内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 光罩保护装置及光罩保护系统

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