申请/专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2019-01-25

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN109830452B

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权;2019.06.25#实质审查的生效;2019.05.31#公开

摘要：本申请涉及一种基板烘烤装置和基板烘烤方法，该基板烘烤装置包括：烘烤腔体；多个支撑板，多个支撑板位于烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，当支撑板呈展开状态时，相邻两个支撑板之间形成对应的加热腔室，加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤；第一移动单元，支撑板的侧面与第一移动单元连接，用于控制支撑板沿预设方向移动；多个独立控制的温控单元，用于使基板具有不同的烘烤温度。通过这种方式，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。

主权项：1.一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：烘烤腔体；多个支撑板，多个所述支撑板位于所述烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，当所述支撑板呈展开状态时，相邻两个所述支撑板之间形成对应的加热腔室，所述加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤；第一移动单元，所述支撑板的侧面与所述第一移动单元连接，用于控制所述支撑板沿所述预设方向移动，所述第一移动单元包括第一可移动杆和第二可移动杆，所述第一可移动杆和所述第二可移动杆相对设置于所述支撑板的两侧，且与所述支撑板的对应侧面连接；多个独立控制的温控单元，用于使所述基板具有不同的烘烤温度，所述温控单元与所述加热腔室一一对应；其中，所述支撑板包括第一可折叠板和第二可折叠板，所述第一可折叠板的一侧与所述第一可移动杆连接，所述第二可折叠板的一侧与所述第二可移动杆连接，其中，在展开状态下，所述第一可折叠板与所述第二可折叠板拼接形成所述支撑板，在折叠过程中，所述第一可折叠板的另一侧朝向所述第一可移动杆折叠，所述第二可折叠板的另一侧朝向所述第二可移动杆折叠，当折叠完成时，所述第一可折叠板、所述第二可折叠板和所述第一移动单元构成基板传输单元，所述基板传输单元用于沿所述预设方向传输所述基板。

全文数据：一种基板烘烤装置和基板烘烤方法【技术领域】本申请涉及显示面板制造技术领域，具体涉及一种基板烘烤装置和基板烘烤方法。【背景技术】低温多晶硅LTPS工艺制程中，玻璃基板经过清洁、涂布、曝光、显影、漂白等工艺后，送到烤箱内进行烘烤，使光刻胶中的树脂和光敏化合物发生交联并回流焊，以提升穿透率，并将光阻硬化以及调整光阻图形锥化角。目前，LTPS工艺制程使用的烤箱主要为热风干燥，相比较与红外干燥，其具有价格较低、挥发物处理对策较优、槽距较小，同等高度可对应较多炉层等优点。但，现有的烤箱采用一体式加热方式，在出现异常或者破片时，需要整体关机停线，无法独立腔室处理，另外，当基板送进或取出烤箱时，由于烤箱内外温差较大，易造成玻璃基板、有机膜面、金属膜面等制程物质瞬间爆裂，从而导致显示器亮度不均匀以及质量问题。【发明内容】本申请的目的在于提供一种基板烘烤装置和基板烘烤方法，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种基板烘烤装置，该基板烘烤装置包括烘烤腔体；多个支撑板，多个支撑板位于烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，当支撑板呈展开状态时，相邻两个支撑板之间形成对应的加热腔室，加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤；第一移动单元，支撑板的侧面与第一移动单元连接，用于控制支撑板沿预设方向移动；多个独立控制的温控单元，用于使基板具有不同的烘烤温度。进一步地，烘烤腔体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，且第一侧壁和第二侧壁位于支撑板的两侧，在第一侧壁上开设有多个进风孔，且多个进风孔沿预设方向间隔分布，在第二侧壁上开设有多个出风孔，出风孔与进风孔一一对应且相对设置。进一步地，每一温控单元对应一进风孔，温控单元包括风机和加热器，风机的气体经进风孔进入烘烤腔体。进一步地，第一移动单元包括：第一可移动杆和第二可移动杆，第一可移动杆和第二可移动杆相对设置于支撑板的两侧，且与支撑板的对应侧面连接；电机，电机用于驱动第一可移动杆和第二可移动杆，以带动支撑板沿预设方向移动。进一步地，支撑板包括第一可折叠板和第二可折叠板，第一可折叠板的一侧与第一可移动杆连接，第二可折叠板的一侧与第二可移动杆连接，其中，在展开状态下，第一可折叠板与第二可折叠板拼接形成支撑板；在折叠过程中，第一可折叠板的另一侧朝向第一可移动杆折叠，第二可折叠板的另一侧朝向第二可移动杆折叠，当折叠完成时，第一可折叠板和第二可折叠板之间的间隔距离小于基板的长度。进一步地，基板烘烤装置还包括第二移动单元，第二移动单元用于控制第一可折叠板和第二可折叠板移动，以调整第一可折叠板和第二可折叠板之间的距离。进一步地，基板烘烤装置还包括位移传感器，位移传感器用于在移动支撑板时对加热腔室的移动位置进行检测。进一步地，支撑板上设置有若干顶针，以减少基板与支撑板之间的接触面积。为了解决上述问题，本申请实施例还提供了一种基板烘烤方法，该基板烘烤方法应用于上述任一项基板烘烤装置，包括：将基板放入预设位置处的支撑板上；利用第一移动单元带动支撑板沿预设方向间歇式移动，相邻两次移动操作之间存在预设停留时间；在预设停留时间内，控制对应的温控单元对基板进行加热。进一步地，在预设停留时间内，控制对应温控单元对基板进行加热的步骤，具体包括：在第一次移动操作和第二次移动操作之间的预设停留时间内，控制第一温控单元以第一烘烤温度对基板进行加热；在第二次移动操作和第三次移动操作之间的预设停留时间内，控制第二温控单元以第二烘烤温度对基板进行加热。本申请的有益效果是：区别于现有技术，本申请提供的基板烘烤装置，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。【附图说明】为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请实施例提供的基板烘烤装置的结构示意图；图2是图1中的基板烘烤装置的正面局部剖视图；图3是图2中的基板烘烤装置对支撑板进行一次移动后的结构示意图；图4是图2中的基板烘烤装置对支撑板进行一次移动后的另一结构示意图；图5是图1中的基板烘烤装置的另一正面局部剖视图；图6是图5中的基板烘烤装置对支撑板进行一次移动后的结构示意图；图7是图1中第一移动单元103的简易结构示意图；图8是图1中的基板烘烤装置的支撑板102为可折叠板时的结构示意图；图9是本申请实施例提供的基板烘烤方法的流程示意图。【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本申请作进一步的详细描述。特别指出的是，以下实施例仅用于说明本申请，但不对本申请的范围进行限定。同样的，以下实施例仅为本申请的部分实施例而非全部实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。为了解决由于现有的烘箱采用一体式加热方式而导致出现异常或者破片时，无法独立腔室处理的问题，以及由于烤箱内外温差较大而导致在基板送进或取出烤箱时易产生的质量问题，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。请参阅图1和图2，图1是本申请实施例提供的基板烘烤装置的结构示意图，图2是图1中的基板烘烤装置的正面局部剖视图。该基板烘烤装置100包括烘烤腔体101、多个支撑板102、第一移动单元103和多个独立控制的温控单元104。多个支撑板102位于烘烤腔体101内，且沿预设方向Z平行间隔设置，相邻两个支撑板102之间形成对应的加热腔室105，在本实施例中，支撑板102可以为可折叠板，当支撑板102为可折叠板时，在展开状态下，相邻两个支撑板102之间形成对应的加热腔室105。加热腔室105用于对进入其中的基板106进行烘烤。支撑板102的侧面与第一移动单元103连接，第一移动单元103用于控制支撑板102沿预设方向Z移动。多个独立控制的温控单元104用于使基板106具有不同的烘烤温度。在本实施例中，通过沿预设方向Z移动支撑板102，可以带动加热腔室105沿预设方向Z移动，当加热腔室105移动至某一预设位置时，该预设位置对应的温控单元104以预设烘烤温度对基板106进行烘烤。其中，多个温控单元104对应有多个预设位置，每个预设位置对应一烘烤温度，通过移动加热腔室105至不同的预设位置，能够使进入该加热腔室105的基板106具有不同的烘烤温度。区别于现有技术，本实施例的基板烘烤装置，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。继续参阅图1和图2，该基板烘烤装置100包括烘烤腔体101、多个支撑板102、第一移动单元103和多个独立控制的温控单元104。多个支撑板102位于烘烤腔体102内，且沿预设方向Z平行间隔设置，相邻两个支撑板102之间形成对应的加热腔室105，在本实施例中，支撑板102可以为可折叠板，当支撑板102为可折叠板时，在展开状态下，相邻两个支撑板102之间形成对应的加热腔室105。加热腔室105用于对进入其中的基板106进行烘烤。支撑板102的侧面与第一移动单元103连接，第一移动单元103用于控制支撑板102沿预设方向Z移动。多个独立控制的温控单元104用于使基板106具有不同的烘烤温度。在本实施例中，烘烤腔体101包括相对设置的第一侧壁1011和第二侧壁1012，且第一侧壁1011和第二侧壁1012位于支撑板102的两侧，在第一侧壁1011上开设有多个进风孔107，且多个进风孔107沿预设方向Z间隔分布，在第二侧壁1012上开设有多个出风孔108，出风孔107与进风孔108一一对应且相对设置。其中，每一温控单元104对应一进风孔107，温控单元104包括风机1041和加热器1042，风机1041的气体经进风孔107进入烘烤腔体101。具体地，如图2所示，图2中的箭头代表空气的路径，风机1041将空气吸入风道1043，加热器1042对风道1043内的空气进行加热，以形成热风，且热风经进风孔107进入烘烤腔体101。在本实施例中，可以通过风机1041控制热风的风量，以及利用加热器1042控制热风的温度，其中，风道1043可以为塑料软管。当基板烘烤装置100处于正常工作状态时，上述预设方向Z一般为重力方向。在支撑板102沿重力方向上下移动时，相邻两个支撑板102之间形成的加热腔室105也会随之一起移动，且在移动结束后，每一加热腔室105对应有一进风孔107、一出风孔108和一温控单元104，其中，温控单元104提供热风并将热风从进风孔107送进对应的加热腔室105，热风进入加热腔室105后对放置其中的基板106进行烘烤，然后从对应的出风孔108排出。在本实施例中，多个进风孔107沿重力方向间隔设置，不同的进风孔107对应不同的热风温度，加热腔室105可以为一个也可以为多个。当加热腔室105为多个时，可以选择在烘烤腔体101底部将基板106送进对应的加热腔室105，并将进风孔107对应的热风温度设定为随进风孔107距离烘烤腔体101底部的距离增大而升高。例如，继续参阅图2，四个加热腔室105由下往上层叠设置，在某一时刻，第一加热腔室1051对应的进风孔107的热风温度为400℃，第二加热腔室1052对应的进风孔107的热风温度为300℃，第三加热腔室1053对应的进风孔107的热风温度为200℃，第四加热腔室1054对应的进风孔107的热风温度为100℃。在进行第一次移动后，如图3所示，第四加热腔室1054向上移动至原来第三加热腔室1053的位置，第三加热腔室1053向上移动至原来第二加热腔室1052的位置，第二加热腔室1052向上移动至原来第一加热腔室1051的位置，相应地，各个加热腔室105对应的热风温度也会改变。关于第一加热腔室1051，如果原来第一腔室1051的位置上还存在其他加热腔室，则第一加热腔室1051可以向上移动以取代位于其上的加热腔室，进一步地，如果第一加热腔室1051上不存在其他的加热腔室，又或者第一加热腔室1051已经到达烘烤腔体101的顶部，则可以从烘烤腔体101顶部区域移出至另一烘烤腔体，并在该另一烘烤腔体内，对第一烘烤腔体1051内的基板106进行降温后取出。例如，如图4所示，基板烘烤装置100还包括位于烘烤腔体101上且与烘烤腔体101层叠设置的降温烘烤腔体201，该降温烘烤腔体201与烘烤腔体101的区别在于，降温烘烤腔体201中进风孔对应的热风温度被设定为随进风孔距离降温烘烤腔体201底部的距离增大而降低。上述第一加热腔室1051从烘烤腔体101顶部区域移出至降温烘烤腔体201底部后，继续向上间歇式地移动，第一加热腔室1051内基板106的温度会逐渐降低，最后从降温烘烤腔体201的顶部区域取出。类似地，上述第二加热腔室1052、第三加热腔室1053、第四加热腔室1054、以及位于第四加热腔室1054之下的加热腔室最后均可以间歇式地移动至降温烘烤腔体201的顶部区域并取出。如此，通过在烘烤腔体101的底部区域放进基板106，并在降温烘烤腔体201的顶部区域取出基板106，能够有效避免基板106在送进或取出基板烘烤装置100时由于内外温差而导致的显示不均匀以及质量问题，另外，分多个加热腔室105对基板106进行烘烤，当某个加热腔室105内部出现异常时，能够独立腔室处理，且不会影响其他加热腔室105的正常使用。当加热腔室105为一个时，请参阅图5和图6，可以选择在烘烤腔体101底部将基板106放入该加热腔室105，并将进风孔107对应的热风温度设定为随进风孔107距离烘烤腔体101底部的距离增大而升高，随后通过向上间歇式地移动该加热腔室105，以使基板106的温度逐渐升高，进一步地，待基板106完成烘烤后，再向下间歇式地移动该加热腔室105，以使基板106的温度逐渐降低，最后从加热腔室105中取出基板106，以减小基板106在放入或取出基板烘烤装置100时的内外温差，并且采用加热腔室105对基板106进行烘烤，在出现异常时可以独立腔室处理。可选地，设置于第一侧壁1011上的多个进风孔107的孔径相同，且等距离间隔，对应地，位于烘烤腔体101内的多个支撑板102也是等间距设置，且相邻两个支撑板102之间的间隔距离不小于进风孔107的孔径，如此，有利于形成更多的加热腔室105，从而提高基板烘烤装置100的工作效率。进一步地，基板烘烤装置100还可以包括位移传感器图中未示出，如光栅尺位移传感器，用于在移动支撑板102时对加热腔室105的移动位置进行检测，以确保每次移动结束之后加热腔室105能够准确到达预设位置。可选地，继续参阅图2，当将基板106放入加热腔室105时，加热腔室105对应的支撑板102对基板106进行支撑，为避免由于支撑板102与基板106直接接触而导致基板106受热不均匀以及污染的问题，支撑板102上设置有若干顶针109，顶针109的高度为5mm左右，通过将基板106放置在顶针109上，以减少基板106与支撑板102之间的接触面积。可选地，请参阅图7，图7是图1中第一移动单元103的简易结构示意图，第一移动单元103包括第一可移动杆1031、第二可移动杆1032、以及电机图中未示出，第一可移动杆1031和第二可移动杆1032相对设置于支撑板102的两侧，且与支撑板102的对应侧面连接，电机用于驱动第一可移动杆1031和第二可移动杆1032，以带动支撑板102沿预设方向Z移动。具体地，第一可移动杆1031和第二可移动杆1032相对设置于烘烤腔体101的侧壁上，且可以相对烘烤腔体101的侧壁沿预设方向移动，其中，第一、第二可移动杆10311032可以与烘烤腔体101的侧壁相切设置，也可以在烘烤腔体101的侧壁上设置沿预设方向Z延伸的滑道，并将第一、第二可移动杆10311032设置于所述滑道内。在一个实施例中，基板烘烤装置100还包括基板传输单元。具体地，如图8所示，支撑板102包括第一可折叠板1021和第二可折叠板1022，第一可折叠板1021的一侧与第一可移动杆1031连接，第二可折叠板1022的一侧与第二可移动杆1032连接，其中，在展开状态下，如图8中的a所示，第一可折叠板1021与第二可折叠板1022拼接形成整块支撑板102，在折叠过程中，第一可折叠板1021的另一侧朝向第一可移动杆1031折叠，第二可折叠板1022的另一侧朝向第二可移动杆1032折叠。当折叠完成时，如图8中的b所示，第一可折叠板1021、第二可折叠板1022、以及第一移动单元103构成基板传输单元，可用于沿预设方向Z传输基板106。并且，在传输基板106的过程中，第一可折叠板1021和第二可折叠板1022之间的间隔距离小于基板106的长度，第一可折叠板1021和第二可折叠板1022对基板106相对两端的边缘区域进行支撑。在基板烘烤装置100的实际使用过程中，可以先控制支撑板102发生折叠，以对应形成基板传输单元，然后利用该基板传输单元将基板106移动至初始预设位置。在检测到基板106到达初始预设位置之后，控制支撑板102展开，使得基板106位于相邻两个支撑板102之间形成的加热腔室105内，然后间歇式地移动所述加热腔室105，以不同的温度对加热腔室105内的基板106进性烘烤，其中，具体的操作方法可以参考前面对加热腔室移动的描述。如此，利用支撑板102的可折叠性能，在展开状态下，形成加热腔室105，以实现基板106逐渐升温或降温，在折叠状态下，形成基板传输单元，以批量传输基板106。在基板烘烤装置100的实际使用过程中，通过灵活利用支撑板102的这两种状态，可以发挥基板烘烤装置100的最大使用率。需要说明的是，支撑板102在折叠过程中、以及当折叠完成时，支撑板102上设置的顶针109由于高度较小，并不会影响支撑板102的折叠。另外，在其他实施例中，上述第一\第二可折叠板10211022也可以用可伸缩板替代。进一步地，为了避免上述基板传输单元在传输基板106的过程中，基板106的两端距离烘烤腔体101的侧壁太近，不利于后续的烘烤操作，基板烘烤装置100还包括第二移动单元图中未示出，第二移动单元用于控制第一可折叠板1021和第二可折叠板1022移动，以调整第一可折叠板1021和第二可折叠板1022之间的距离。例如，利用第二移动单元控制第一第二折叠板10211022左右移动，以调整第一第二折叠板10211022之间的距离，进而调整基板106与烘烤腔体101侧壁之间的距离。其中，第二移动单元可以采用与第一移动单元103类似的结构设计，如第二移动单元可以包括第三可移动杆、第四可移动杆、以及电机。可选地，在上述实施例中，支撑板102的材质为保温隔热材料，并且可以为单层结构也可以为多层结构。区别于现有技术，本实施例中的基板烘烤装置，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。请参阅图9，图9是本申请实施例提供的基板烘烤方法的流程示意图。该基板烘烤方法应用于上述任一实施例的基板烘烤装置，其中，基板烘烤装置包括烘烤腔体、多个支撑板、第一移动单元和多个独立控制的温控单元。多个支撑板位于烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，相邻两个支撑板之间形成对应的加热腔室，在本实施例中，支撑板可以为可折叠板，当支撑板为可折叠板时，在展开状态下，相邻两个支撑板之间形成对应的加热腔室。加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤。支撑板的侧面与第一移动单元连接，第一移动单元用于控制支撑板沿预设方向移动。多个独立控制的温控单元用于使基板具有不同的烘烤温度。关于基板烘烤装置的描述已在上述实施例中进行了详细的说明，此处不再赘述。该基板烘烤方法包括以下步骤：S91：将基板放入预设位置处的支撑板上。在本实施例中，预设位置可以是位于烘烤腔体底部的加热腔室对应的支撑板，也可以是位于烘烤腔体顶部的加热腔室对应的支撑板。其中，预设位置处对应的基板烘烤温度可以为环境温度或为最低的烘烤温度。可选地，S91可以具体包括：将基板放入基板传输单元中的支撑板上；控制基板传输单元将基板移动至预设位置；控制基板传输单元将支撑板展开，使得基板位于相邻两个支撑板之间形成的加热腔室内。S92：利用第一移动单元带动支撑板沿预设方向间歇式移动，相邻两次移动操作之间存在预设停留时间。在相邻两次移动操作之间的预设停留时间内，对应有一预设烘烤温度，以对基板进行加热。其中，不同预设停留时间对应的烘烤温度不同，且每一预设停留时间的长度应该足够长，以使得在开始下一次移动操作时，基板的温度已达到该预设停留时间对应的烘烤温度。S93：在预设停留时间内，控制对应温控单元对基板进行加热。可选地，S93具体包括：子步骤A：在第一次移动操作和第二次移动操作之间的预设停留时间内，控制第一温控单元以第一烘烤温度对基板进行加热；子步骤B：在第二次移动操作和第三次移动操作之间的预设停留时间内，控制第二温控单元以第二烘烤温度对基板进行加热，其中，第二烘烤温度大于第一烘烤温度。依次类推，可以设定随着移动次数的增加，在相邻两次移动操作之间的预设停留时间内对应的烘烤温度逐渐升高，以实现基板的逐渐升温，可以避免基板放入基板烘烤装置时由于内外温差较大而导致的质量问题。在实际操作过程中，可以具体设定随着移动次数的增加，在相邻两次移动操作之间的预设停留时间内对应的烘烤温度依次递增，其中，每次递增幅度的最佳值，可以通过不断测试以确定。进一步地，在上述子步骤B之后，还可以包括：子步骤C：在第三次移动操作和第四次移动操作之间的预设停留时间内，控制第三温控单元以第三烘烤温度对基板进行加热，其中，第三烘烤温度小于第二烘烤温度；子步骤D：在第四次移动操作和第五次移动操作之间的预设停留时间内，控制第四温控单元以第四烘烤温度对基板进行加热，其中，第四烘烤温度小于第三烘烤温度。依次类推，可以将相邻两次移动操作之间的预设停留时间内对应的烘烤温度设定为：随着移动次数的增加，先逐渐升高至最大预设烘烤温度，然后再逐渐降低至最小预设温度，以实现基板在放入时逐渐升温和在取出时逐渐降温，可以避免基板放入或取出基板烘烤装置时由于内外温差较大而导致的质量问题。区别于现有技术，本实施例中的基板烘烤方法，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求：1.一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：烘烤腔体；多个支撑板，多个所述支撑板位于所述烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，当所述支撑板呈展开状态时，相邻两个所述支撑板之间形成对应的加热腔室，所述加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤；第一移动单元，所述支撑板的侧面与所述第一移动单元连接，用于控制所述支撑板沿所述预设方向移动；多个独立控制的温控单元，用于使所述基板具有不同的烘烤温度。2.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述烘烤腔体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，且所述第一侧壁和所述第二侧壁位于所述支撑板的两侧，在所述第一侧壁上开设有多个进风孔，且多个所述进风孔沿所述预设方向间隔分布，在所述第二侧壁上开设有多个出风孔，所述出风孔与所述进风孔一一对应且相对设置。3.根据权利要求2所述的基板烘烤装置，其特征在于，每一所述温控单元对应一所述进风孔，所述温控单元包括风机和加热器，所述风机的气体经所述进风孔进入所述烘烤腔体。4.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述第一移动单元包括：第一可移动杆和第二可移动杆，所述第一可移动杆和所述第二可移动杆相对设置于所述支撑板的两侧，且与所述支撑板的对应侧面连接；电机，所述电机用于驱动所述第一可移动杆和所述第二可移动杆，以带动所述支撑板沿所述预设方向移动。5.根据权利要求4所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述支撑板包括第一可折叠板和第二可折叠板，所述第一可折叠板的一侧与所述第一可移动杆连接，所述第二可折叠板的一侧与所述第二可移动杆连接，其中，在展开状态下，所述第一可折叠板与所述第二可折叠板拼接形成所述支撑板；在折叠过程中，所述第一可折叠板的另一侧朝向所述第一可移动杆折叠，所述第二可折叠板的另一侧朝向所述第二可移动杆折叠，当折叠完成时，所述第一可折叠板和所述第二可折叠板之间的间隔距离小于所述基板的长度。6.根据权利要求5所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述基板烘烤装置还包括第二移动单元，所述第二移动单元用于控制所述第一可折叠板和所述第二可折叠板移动，以调整所述第一可折叠板和所述第二可折叠板之间的距离。7.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述基板烘烤装置还包括位移传感器，所述位移传感器用于在移动所述支撑板时对所述加热腔室的移动位置进行检测。8.根据权利要求1所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述支撑板上设置有若干顶针，以减少所述基板与所述支撑板之间的接触面积。9.一种基板烘烤方法，应用于如权利要求1-8任一项所述的基板烘烤装置，其特征在于，所述方法包括：将所述基板放入预设位置处的所述支撑板上；利用所述第一移动单元带动所述支撑板沿所述预设方向间歇式移动，相邻两次移动操作之间存在预设停留时间；在所述预设停留时间内，控制对应的所述温控单元对所述基板进行加热。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述预设停留时间内，控制对应的所述温控单元对所述基板进行加热的步骤，具体包括：在第一次移动操作和第二次移动操作之间的所述预设停留时间内，控制第一温控单元以第一烘烤温度对所述基板进行加热；在所述第二次移动操作和第三次移动操作之间的所述预设停留时间内，控制第二温控单元以第二烘烤温度对所述基板进行加热。

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