申请/专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2019-07-31

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN110473983B

主分类号：H01L51/52(20060101)

分类号：H01L51/52(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权;2019.12.13#实质审查的生效;2019.11.19#公开

摘要：本发明提供一种显示面板母板和显示面板母板的制备方法，显示面板母板包括基底和多个显示面板，多个显示面板形成于所述基底上；在相邻显示面板之间，显示面板的前制程膜层形成有切割槽；其中，切割槽包括第一切割槽和第二切割槽，第二切割槽在基底上的正投影，覆盖且大于第一切割槽在基底上的正投影。通过在相邻显示面板之间的前制程膜层中形成第一切割槽和第二切割槽，当后续制程中封装层中的无机薄膜沉积在切割槽内时，无机薄膜会自动断裂，且切割产生的裂纹会被限制在切割槽内，不会向显示面板蔓延，有效的保证了封装有效区及其可靠性。

主权项：1.一种显示面板母板，其特征在于，包括：基底；多个显示面板，形成于所述基底上；在相邻显示面板之间，所述显示面板的前制程膜层形成有切割槽；其中，所述切割槽包括第一切割槽和第二切割槽，所述第二切割槽在所述基底上的正投影，覆盖且大于所述第一切割槽在所述基底上的正投影，所述切割槽的中心线与相邻显示面板之间的切割线重合；所述切割槽的截面呈凸字形；形成所述第一切割槽的膜层材料的刻蚀速度小于形成所述第二切割槽的膜层材料的刻蚀速度；所述前制程膜层包括衬底和形成在所述衬底上的无机层；所述第一切割槽形成在所述无机层中，所述第二切割槽形成在所述衬底中，或，所述第一切割槽和所述第二切割槽均形成在所述无机层中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板母板和显示面板母板的制备方法

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