申请/专利权人：上海磐盟电子材料有限公司

申请日：2019-11-29

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN111037370B

主分类号：B24B1/00(20060101)

分类号：B24B1/00(20060101);B24B9/06(20060101);B24B41/06(20120101);B24B41/04(20060101);B24B55/02(20060101);B24B41/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权;2020.05.15#实质审查的生效;2020.04.21#公开

摘要：本发明涉及圆晶加工技术领域，公开了一种圆晶倒角工艺，基于圆晶倒角装置，圆晶倒角装置包括转动件，转动件连有倒角轮，倒角轮开设倒角槽，倒角槽的开口方向与倒角轮的轴向垂直，工艺包括：S1：将圆晶送入倒角槽中；S2：圆晶的径向与倒角槽的开口方向呈该锐角角度；S3：启动转动件使倒角轮的转速逐渐增加，并且转速到达设定驱动转速后，转速不再增加；S4：倒角轮的转速逐渐增加时，圆晶的转速逐渐增加，并且转速到达设定圆晶转速后，转速不再增加；S5：圆晶反向转动锐角角度，圆晶的径向与倒角槽的开口方向平行；在倒角时，圆晶与倒角槽内壁之间的接触面积变小，缩小圆晶受温度变化影响的部位体积，提高圆晶边缘的倒角效果。

主权项：1.一种圆晶倒角工艺，基于圆晶倒角装置（100），所述圆晶倒角装置（100）包括转动件（110），所述转动件（110）传动连接有倒角轮（120），所述倒角轮（120）的外侧边开设有弧形的倒角槽（121），所述倒角槽（121）的开口方向与所述倒角轮（120）的轴向垂直；工艺还基于用于夹紧圆晶的固定夹具（200），所述固定夹具（200）包括摆动件（210），所述摆动件（210）的摆动端固定连接有驱动件（220），圆晶安装在所述驱动件（220）上；其特征在于，工艺包括如下步骤：S1：将圆晶送入倒角槽（121）中，圆晶的径向与所述倒角槽（121）的开口方向平行；S2：转动圆晶一锐角角度，圆晶的径向与所述倒角槽（121）的开口方向呈该锐角角度；S3：启动所述转动件（110）使所述倒角轮（120）的转速逐渐增加，并且转速到达设定驱动转速后，转速不再增加；S4：所述倒角轮（120）的转速逐渐增加时，圆晶转动，圆晶的转速逐渐增加，并且转速到达设定圆晶转速后，转速不再增加；S5：在圆晶旋转后，圆晶反向转动锐角角度，圆晶的径向与所述倒角槽（121）的开口方向平行；还包括如下步骤：S6：先停止所述驱动件（220），圆晶从动于所述倒角轮（120），再停止所述倒角轮（120）；圆晶的转动方向与所述倒角轮（120）的转动方向相同，或，圆晶的转动方向与所述倒角轮（120）的转动方向相反；圆晶的转速低于所述倒角轮（120）的转速。

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