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【实用新型】一种蒸镀装置_合肥欣奕华智能机器有限公司_202021819579.1 

申请/专利权人:合肥欣奕华智能机器有限公司

申请日:2020-08-26

公开(公告)日:2021-04-27

公开(公告)号:CN213061004U

主分类号:C23C14/24(20060101)

分类号:C23C14/24(20060101);C23C14/12(20060101);H01L51/56(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.27#授权

摘要:本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸镀装置,该蒸镀装置包括:坩埚,坩埚包括侧壁和底壁;加热组件,加热组件位于侧壁的外侧,沿垂直于侧壁的方向,加热组件相对坩埚位置可调,当加热组件位于待加热工位时,加热组件与侧壁之间形成间隔;冷却组件,沿垂直于底壁的方向,冷却组件相对坩埚位置可调,冷却组件包括第一冷却件;当冷却组件位于冷却工位时,加热组件处于待加热工位,第一冷却件伸入间隔内以对坩埚降温。该述蒸镀装置中,冷却组件的第一冷却件可以伸入加热组件与坩埚之间间隙,与坩埚的侧壁相对并对坩埚进行冷却,冷却均匀,可以有效改善降温效果,提高降温效率,实现快速降温,大大缩短降温时间。

主权项:1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:坩埚,所述坩埚包括侧壁和底壁;加热组件,所述加热组件位于所述侧壁的外侧,沿垂直于所述侧壁的方向,所述加热组件相对所述坩埚位置可调,当所述加热组件位于加热工位时,所述加热组件与所述侧壁相对以对所述坩埚加热;当所述加热组件位于待加热工位时,所述加热组件与所述侧壁之间形成间隔;第一驱动装置,所述第一驱动装置与所述加热组件传动连接以用于驱动所述加热组件在所述加热工位与待加热工位之间切换;冷却组件,沿垂直于所述底壁的方向,所述冷却组件相对所述坩埚位置可调,所述冷却组件包括第一冷却件;当所述冷却组件位于冷却工位时,所述加热组件处于待加热工位,所述第一冷却件伸入所述间隔内以对所述坩埚降温;当所述冷却组件位于待冷却工位时,所述冷却组件远离所述坩埚并位于所述底壁背离所述坩埚的喷嘴的一侧;第二驱动装置,所述第二驱动装置与所述冷却组件传动连接以用于驱动所述冷却组件在所述冷却工位与待冷却工位之间切换。

全文数据:

权利要求:

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