申请/专利权人:苏州尚勤光电科技有限公司
申请日:2020-08-28
公开(公告)日:2021-04-27
公开(公告)号:CN213065556U
主分类号:F17D1/00(20060101)
分类号:F17D1/00(20060101);F17D3/01(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.04.27#授权
摘要:本实用新型本实用新型为了解决液态源汽化系统系统密封性,流量、温度控制要精确,组分变换要迅速,系统要紧凑的问题,提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置,工作过程中,液态源通过液态质量流量控制器定量送入蒸发器,同时,载气通过第一气体质量流量控制器定量送入蒸发器,蒸发器通过控制温度完成混合物的完全气化并通入工艺室,蒸发管道上设有第二气体质量流量控制器,出气即为液态源的混合蒸汽,流量精准控制,工艺参数易于控制。
主权项:1.一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置,包括:载气管路1、液态源管路2、蒸发器3、蒸发器管路4和工艺室5,载气管路1连接蒸发器3,蒸发器3连接蒸发器管路4,蒸发器管路4连接工艺室5,液态源管路2连接蒸发器3,其特征在于:载气管路1上设有第一气体质量流量控制器6和气压监测装置,液态源管路2上设有液体质量流量控制器7,蒸发器3管道设有第二气体质量流量控制器10,液态源在蒸发器3内先气化后与蒸发器3内的载气混合稀释再输送至工艺室5进行使用。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 苏州尚勤光电科技有限公司 一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的控制装置
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