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【实用新型】一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置_河南通用智能装备有限公司_202021861113.8 

申请/专利权人:河南通用智能装备有限公司

申请日:2020-08-31

公开(公告)日:2021-04-27

公开(公告)号:CN213056367U

主分类号:B32B38/00(20060101)

分类号:B32B38/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.27#授权

摘要:本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置,包括双轴电机、底座和机盖,所述双轴电机的左右两端设置电机转轴,电机转轴上设置同步带,同步带的右端与卷膜辊筒的辊筒转轴连接,所述底座设置在辊筒凹槽右侧,底座的左侧设置固定轴,底座顶面设置晶圆片固定槽,所述机盖设置在底座上方,机盖底部设置刀片。该激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置,结构设置合理,通过双轴电机带动卷膜辊筒拉动贴膜辊筒上的膜,将膜覆盖在晶圆片上后闭合机盖通过驱动电机带动刀片将膜切割成圆形覆盖在晶圆片上,此过程不仅提高了产能、效率、膜贴合平整度,还节省了大量人力,如此便能够更好的贴膜装置的高效作业,促进晶圆片行业的发展。

主权项:1.一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置,包括双轴电机(1)、底座(8)和机盖(11),其特征在于:所述双轴电机(1)的左右两端设置电机转轴(2),电机转轴(2)上设置齿轮(2.1),齿轮(2.1)上设置同步带(3),同步带(3)的右端与卷膜辊筒(6)的辊筒转轴(5)连接,辊筒转轴(5)上设置转轴架(4),卷膜辊筒(6)下方设置辊筒凹槽(6.1),所述底座(8)设置在辊筒凹槽(6.1)右侧,底座(8)的左侧设置固定轴(7),固定轴(7)上连接旋转片(7.1),底座(8)顶面设置晶圆片固定槽(9),晶圆片固定槽(9)底部设置支撑板(9.2),支撑板(9.2)底部设置升降器(9.1),底座(8)右端设置贴膜辊筒(10),贴膜辊筒(10)固定在转轴架(4)上,贴膜辊筒(10)下方设置辊筒凹槽(6.1),所述机盖(11)设置在底座(8)上方,机盖(11)左侧设置固定轴(7),固定轴(7)连接旋转片(7.1)的上端,机盖(11)顶部设置驱动电机(11.1),驱动电机(11.1)的转动轴穿过机盖(11)上的转轴孔(11.2)与机盖(11)底部的切割杆(11.3)连接,切割杆(11.3)的杆头设置刀片(11.4),机盖(11)右侧面设置提柄。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 河南通用智能装备有限公司 一种激光晶圆切割用晶圆片的贴膜装置

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