【实用新型】一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置_河南通用智能装备有限公司_202021977388.8 

申请/专利权人:河南通用智能装备有限公司

申请日:2020-09-11

发明/设计人:巩铁建;陶为银

公开(公告)日:2021-04-27

代理机构:郑州中原专利事务所有限公司

公开(公告)号:CN213053310U

代理人:范小方

主分类号:B23K26/38(20140101)

地址:450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

分类号:B23K26/38(20140101);B23K26/70(20140101);B23K101/40(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.04.27#授权

摘要:本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置,包括工作板和工作柱,所述工作板端部与安装板固定连接,且工作板上表面与夹持台通过螺栓装配,同时夹持台左上侧安装有左夹持装置,并且夹持台右上侧安装有右夹持装置,工作板左上侧固定连接有升降台,左夹持装置上固定连接有固定块,且固定块右上侧与夹板固定连接,同时固定块底部与滑块固定连接;所述工作柱安装在安装管内部,且工作柱下端与工作板内部通过螺栓装配。该激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置,左夹持装置与右夹持装置相向移动,通过其上的夹板,将晶圆片夹持在夹持腔中,完成对晶圆片的夹紧工作,保证晶圆片在切割时候的稳定性。

主权项:1.一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置,包括工作板(1)和工作柱(11),其特征在于:所述工作板(1)端部与安装板(3)固定连接,且工作板(1)上表面与夹持台(2)通过螺栓装配,同时夹持台(2)左上侧安装有左夹持装置(7),并且夹持台(2)右上侧安装有右夹持装置(4),工作板(1)左上侧固定连接有升降台(8),左夹持装置(7)上固定连接有固定块(15),且固定块(15)右上侧与夹板(16)固定连接,同时固定块(15)底部与滑块(17)固定连接;所述工作柱(11)安装在安装管(9)内部,且工作柱(11)下端与工作板(1)内部通过螺栓装配,同时工作柱(11)上端穿过导向管(18)与固定螺帽(12)螺接固定,并且导向管(18)右上侧与固定卡板(13)固定连接。

全文数据:

权利要求:

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