申请/专利权人：深圳市佳思特光电设备有限公司

申请日：2020-09-25

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213071084U

主分类号：H01L21/677(20060101)

分类号：H01L21/677(20060101);H01L21/687(20060101);H01L21/60(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：一种直通型倒装固晶机，包括机架，机架上设有晶圆工作台、固晶工作台，以及安装台，所述晶圆工作台上设有晶环机构，所述固晶工作台上设有夹具机构，所述安装台上设有取晶镜筒、固晶邦头机构、固晶镜筒、点胶机构，以及给点胶机构供胶的胶盘机构，所述安装台的靠近机架的一侧设有前后贯通的第一通道，所述夹具机构伸进第一通道且穿过第一通道并延伸至机架的后端设置，从而可实现将夹具机构上的产品输送至下一工序。本实用新型具有产品固晶后可直接输送至下一工序的、操作更加简单、工作量更少、速度更快的、相邻的两个工序之间能够连贯起来的优点。

主权项：1.一种直通型倒装固晶机，包括机架（1），机架（1）上设有晶圆工作台（11）、固晶工作台（12），以及安装台（13），所述晶圆工作台（11）上设有晶环机构（2），所述固晶工作台（12）上设有夹具机构（3），所述安装台（13）上设有取晶镜筒（4）、固晶邦头机构（5）、固晶镜筒（6）、点胶机构（7），以及给点胶机构（7）供胶的胶盘机构（8），其特征在于：所述安装台（13）的靠近机架（1）的一侧设有前后贯通的第一通道（131），所述夹具机构（3）伸进第一通道（131）且穿过第一通道（131）并延伸至机架（1）的后端设置，从而可实现将夹具机构（3）上的产品（91）输送至下一工序。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市佳思特光电设备有限公司 直通型倒装固晶机

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