申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请日：2020-10-09

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213069473U

主分类号：G03F7/20(20060101)

分类号：G03F7/20(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于直写光刻机的电机串并联系统，包括：花岗岩大理石；多个扫描轴，每个扫描轴具有至少一个扫描电机动子；多个工作吸盘，多个工作吸盘一一对应地设于多个扫描轴上；第一电控系统，第一电控系统与每个扫描轴的每个扫描电机动子连接，第一电控系统在第一状态和第二状态之间可切换；其中，第一电控系统处于第一状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子同时运动；第一电控系统处于第二状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子单独运动。根据本实用新型实施例的一种用于直写光刻机的电机串并联系统能够实现多个扫描轴的同步运动和单独运动的切换，具有兼容性强、生产效率高等优点。

主权项：1.一种用于直写光刻机的电机串并联系统，其特征在于，包括：花岗岩大理石；多个扫描轴，多个所述扫描轴安装于所述花岗岩大理石，每个所述扫描轴具有至少一个扫描电机动子；多个工作吸盘，多个所述工作吸盘一一对应地设于多个所述扫描轴；步进轴，所述步进轴安装于所述花岗岩大理石上，所述步进轴具有至少一个步进电机动子；第一电控系统，所述第一电控系统与每个所述扫描轴的每个所述扫描电机动子连接，所述第一电控系统在第一状态和第二状态之间可切换；其中，所述第一电控系统处于所述第一状态时，所述第一电控系统控制至少两个所述扫描轴的扫描电机动子同时运动；所述第一电控系统处于所述第二状态时，所述第一电控系统控制至少一个所述扫描轴的扫描电机动子单独运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种用于直写光刻机的电机串并联系统

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