申请/专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司

申请日：2020-10-15

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN213073101U

主分类号：H04R19/04(20060101)

分类号：H04R19/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.27#授权

摘要：本实用新型公开一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体、泄气阀及MEMS芯片；壳体包括具有进声孔的基板，基板的内部设有泄气通道，泄气通道的一端形成有贯穿进声孔的侧壁的第一开口，其另一端形成有贯穿基板的内表面的第二开口；泄气阀包括呈层叠设置的主动片和被动片；主动片贴合在基板的内表面并罩盖第二开口，主动片的热膨胀系数大于被动片的热膨胀系数；被动片具有与主动片层叠的被动部，及自被动部延伸出并罩盖进声孔的固定部，固定部贯设有与进声孔对应的透声孔，并与基板固定；MEMS芯片设置在被动片的固定部，并罩盖透声孔。本实用新型的MEMS麦克风，能够平衡MEMS麦克风的内外气压、保护MEMS芯片不受到破坏的同时，还能改善低频频率响应下跌的问题。

主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：壳体，所述壳体包括具有进声孔的基板，所述基板的内部设有泄气通道，所述泄气通道的一端形成有贯穿所述进声孔的侧壁的第一开口，其另一端形成有贯穿所述基板的内表面的第二开口；泄气阀，所述泄气阀包括呈层叠设置的主动片和被动片；其中，所述主动片贴合在所述基板的内表面并罩盖第二开口，所述主动片的热膨胀系数大于所述被动片的热膨胀系数；所述被动片具有与所述主动片层叠的被动部，及自所述被动部延伸出并罩盖所述进声孔的固定部，所述固定部贯设有与所述进声孔对应的透声孔，所述固定部与所述基板固定；以及MEMS芯片，所述MEMS芯片设置在所述被动片的固定部，并罩盖所述透声孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 潍坊歌尔微电子有限公司 MEMS麦克风

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD