申请/专利权人：苏州双石真空镀膜有限公司

申请日：2020-09-21

公开（公告）日：2021-05-04

公开（公告）号：CN213113490U

主分类号：C23C14/50(20060101)

分类号：C23C14/50(20060101);C23C16/458(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.04#授权

摘要：本实用新型提供一种真空镀膜的自转式工架机构，包括：自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮，所述从动齿轮盘上表面设有公转盘，所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘，所述公转盘上表面中心处安装有轴承三，所述轴承三内部安装有传动轴，所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部，所述传动轴上端设有太阳轮，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置公转盘和主动齿轮盘，使得工架机构能够发生公转，太阳轮、从动齿圈、行星轮一以及行星轮二设计，使得自转工件架在太阳轮的带动下，公转的同时，还能够自转，提高镀膜的效率和质量。

主权项：1.一种真空镀膜的自转式工架机构，其特征在于，包括：自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮，从动齿轮盘上表面设有公转盘，所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘，所述公转盘上表面中心处安装有轴承三，所述轴承三内部安装有传动轴，所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部，所述传动轴上端设有太阳轮，所述公转盘上表面安装有行星轮支架，所述行星轮支架上端设有行星轮二，转轴通过轴承二安装在公转盘上表面，所述转轴下端表面设有行星轮一，所述行星轮二通过齿轮牙与太阳轮连接，所述行星轮二通过齿轮牙与从动齿圈连接，所述行星轮一通过齿轮牙与从动齿圈连接，所述从动齿圈安装在行星轮一、行星轮二之间，所述行星轮一通过行星轮二和从动齿圈与太阳轮连接，所述公转盘上表面安装有自转工件架，所述自转工件架由转轴、工件夹具、托板、轴承二以及行星轮一构成，所述托板上表面安装有工件夹具，所述转轴表面设有托板，所述转轴上端安装在顶板下表面，所述顶板上表面中心处焊接有连接轴，所述连接轴上端安装有轴承一。

全文数据：

权利要求：

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