申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请日：2019-09-24

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112771430A

主分类号：G02B7/02(20210101)

分类号：G02B7/02(20210101);G02B7/182(20210101);G03F7/20(20060101)

优先权：["20180925 DE 102018216344.8"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.06#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明涉及在特别是微光刻的光学成像装置中使用的光学布置，其包括光学元件单元108和检测装置112和或致动装置110，其中，光学元件单元108包括至少一个光学元件108.1。检测装置112被配置为在各个情况下以多个——M个自由度来确定检测值，检测值表示光学元件108.1的元件参考相对于检测装置112的主要参考在相应自由度中的相对位置或取向，其中检测装置112包括多个——N个检测单元112.1，每个检测单元被配置为输出检测信号，检测信号表示检测单元112.1相对于向光学元件108.1和相应检测单元112.1分配的次级参考的距离和或位移，以及光学元件单元108和检测装置112限定检测变换矩阵，检测变换矩阵表示N个检测信号到M个检测值中的变换。附加地或替代地，致动装置110配置为在各个情况下以多个——R个自由度来设置情况值，情况值表示光学元件的元件参考相对于致动装置110的主要参考在相应自由度中的相对位置或取向，其中，致动装置110包括多个——S个致动单元110.1，每个致动单元110.1配置为生成在致动单元相对于光学元件单元108的接口处的致动状态，并且光学元件单元108和致动装置110限定了致动变换矩阵，致动变换矩阵表示S个致动状态到R个情况值中的变换。在这种情况下，变换矩阵的条件数由变换矩阵的最大奇异值与变换矩阵的最小奇异值的比率来限定。检测装置112和或光学元件单元108被配置为使得检测变换矩阵的条件数为5至30，特别是5至20，更优选地为8至15。附加地或替代地，致动装置110和或光学元件单元108被配置为使得致动变换矩阵的条件数为5至30，特别是5至20，更优选为8至15。

主权项：1.一种在特别是微光刻的光学成像装置中使用的光学布置，包括-光学元件单元，和-检测装置112和或致动装置110，其中，-所述光学元件单元108包括至少一个光学元件108.1，其中，-所述检测装置112被配置为在各个情况下以多个——M个自由度来确定检测值，所述检测值表示所述光学元件108.1的元件参考相对于所述检测装置112的主要参考在相应自由度中的相对位置或取向，其中，-所述检测装置112包括多个——N个检测单元112.1，每个检测单元被配置为输出检测信号，所述检测信号表示所述检测单元112.1相对于向所述光学元件108.1和相应检测单元112.1分配的次级参考112.2的距离和或位移，以及-所述光学元件单元108和所述检测装置112限定检测变换矩阵，所述检测变换矩阵表示所述N个检测信号到所述M个检测值的变换，和或-所述致动装置110被配置成在各个情况下以多个——R个自由度来设置情况值，所述情况值表示所述光学元件的元件参考相对于所述致动装置110的主要参考在相应自由度中的相对位置或取向，其中，-所述致动装置110包括多个——S个致动单元110.1，每个致动单元110.1被配置为生成在所述致动单元110.1相对于所述光学元件单元108的接口处的致动状态，以及-所述光学元件单元108和所述致动装置110限定致动变换矩阵，所述致动变换矩阵表示所述S个致动状态到所述R个情况值的变换，其中，-变换矩阵的条件数被由所述变换矩阵的最大奇异值与所述变换矩阵的最小奇异值的比率来限定，其特征在于，-所述检测装置112和或所述光学元件单元108被配置为使得所述检测变换矩阵的条件数为5至30，特别是5至20，更优选地为8至15。和或-所述致动装置110和或所述光学元件单元108被配置为使得所述致动变换矩阵的条件数为5至30，特别是5至20，更优选为8至15。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 支撑光学元件

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD