申请/专利权人：湖南顶立科技有限公司

申请日：2020-12-22

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112760616A

主分类号：C23C16/44(20060101)

分类号：C23C16/44(20060101);C23C16/458(20060101);C23C16/52(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.12.27#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本申请公开一种气相沉积装置，包括，壳体、料盘、传动轴组件以及驱动装置，其中，所述料盘设置在所述壳体的内腔，所述料盘用于承载工件；传动轴组件设置在所述料盘下方，与所述料盘连接；驱动装置设置在所述壳体外部，与所述传动轴组件远离所述料盘的一端连接，所述驱动装置被配置为：带动所述传动轴组件转动的同时使得所述传动轴组件沿轴向方向移动。本申请提供的气相沉积装置，相较于现有技术而言，可以提高工件表面沉积厚度的均匀性，提高工件表面质量。

主权项：1.一种气相沉积装置，其特征在于，包括，壳体1；设置在所述壳体1的内腔4的料盘2，所述料盘2用于承载工件3；设置在所述料盘2下方，与所述料盘2连接的传动轴组件5；驱动装置6；设置在所述壳体1外部，与所述传动轴组件5远离所述料盘2的一端连接，所述驱动装置6被配置为：带动所述传动轴组件5转动的同时使得所述传动轴组件5沿轴向方向移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南顶立科技有限公司 一种气相沉积装置

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