申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2020-12-23

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112762817A

主分类号：G01B9/02(20060101)

分类号：G01B9/02(20060101);G01B11/24(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.08#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明提供的一种倾斜斐索波数扫描干涉仪，通过半导体激光器、准直调节镜、参考镜、远心镜头、光谱图像采集器和数据处理部件的设置，基于激光电流波数扫描测量原理实现了测量透镜三维轮廓信息，省去了现有干涉仪中使用的分光棱镜或者半透半反射镜，使结构更加简易，具有很好的稳定性；同时，本发明提供的倾斜斐索波数扫描干涉仪使被测镜和参考镜在同一侧，极大的提高了信噪比。

主权项：1.倾斜斐索波数扫描干涉仪，其特征在于，包括半导体激光器1、准直调节镜2、参考镜3、远心镜头4、光谱图像采集器5和数据处理部件6；其中：所述半导体激光器1用于发出相关光；所述准直调节镜2将半导体激光器1发出的相关光准直并将调节后的光引导入射至所述参考镜3；相关光在所述参考镜3中产生反射，反射光到达所述远心镜头4形成第一反射光路；相关光通过所述参考镜3透射到被测透镜，在被测透镜产生反射，反射光达到所述远心镜头4形成第二反射光路；所述半导体激光器1、准直调节镜2的组合为发射光路；所述远心镜头4、光谱图像采集器5的组合为接收光路；发射光路和接收光路倾斜产生一定的角度，使所述第一反射光路和所述第二反射光路所述远心镜头4汇合而发生干涉，产生干涉光谱；所述光谱图像采集器5用于采集干涉光谱图像；所述数据处理部件6根据采集到的干涉光谱图像计算被测透镜的三维轮廓信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 倾斜斐索波数扫描干涉仪

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