申请/专利权人：埃特曼(深圳)半导体技术有限公司

申请日：2021-01-19

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112758696A

主分类号：B65G54/02(20060101)

分类号：B65G54/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.07.11#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，提高真空腔室的密封性和真空环境的洁净度。

主权项：1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃特曼(深圳)半导体技术有限公司 真空样品驱动装置

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