申请/专利权人：株式会社电装;精工爱普生株式会社

申请日：2016-08-08

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN107923750B

主分类号：G01C19/5628(20060101)

分类号：G01C19/5628(20060101);H01L29/84(20060101);H01L41/113(20060101);B81B3/00(20060101);G01C19/5621(20060101);G01P15/08(20060101);G01P15/125(20060101)

优先权：["20150821 JP 2015-163890"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.07#授权;2018.05.11#实质审查的生效;2018.04.17#公开

摘要：一种复合传感器，具备作为对电路基板300的噪声屏蔽部而发挥功能的第1屏蔽图案91、作为对第1传感器100的噪声屏蔽部而发挥功能的第2屏蔽图案92、以及作为对第2传感器200的噪声屏蔽部而发挥功能的第3屏蔽图案93。并且，第1屏蔽图案91的阻抗比第2、第3屏蔽图案92、93低，将第2屏蔽图案92与第3屏蔽图案93经由第1屏蔽图案91电连接。由此，能够抑制因电噪声而导致检测精度下降。

主权项：1.一种复合传感器，具备：第1传感器100，输出与检测对象相应的第1传感器信号；第2传感器200，输出与不同于上述第1传感器的检测对象的检测对象相应的第2传感器信号；电路基板300，与上述第1、第2传感器电连接；被搭载构件10，具有一面27a，在上述一面上配置上述第1、第2传感器及上述电路基板；第1屏蔽图案91，作为对上述电路基板的噪声屏蔽部而发挥功能；第2屏蔽图案92，作为对上述第1传感器的噪声屏蔽部而发挥功能；以及第3屏蔽图案93，作为对上述第2传感器的噪声屏蔽部而发挥功能，上述第1屏蔽图案的阻抗比上述第2、第3屏蔽图案低，上述第2屏蔽图案与上述第3屏蔽图案经由上述第1屏蔽图案电连接。

全文数据：复合传感器[0001]相关申请的相互参照[0002]本申请基于2015年8月21日申请的日本申请号2015-163890号，在此援引其记载内容。技术领域[0003]本公开涉及一种检测对象不同的第1、第2传感器被搭载在共同的被搭载构件上的复合传感器。背景技术[0004]以往，作为这种复合传感器，例如在专利文献1中提出了将输出与加速度相应的传感器信号的加速度传感器和输出与角速度相应的传感器信号的角速度传感器搭载在共同的被搭载构件的一面上的复合传感器。[0005]具体地说，在该复合传感器中，加速度传感器及角速度传感器均经由由导电性构件等构成的连接构件连接到被搭载构件的一面上。并且，将角速度传感器和被搭载构件的一面连接的连接构件的高度比将加速度传感器和被搭载构件的一面连接的连接构件的高度高。另外，角速度传感器例如是利用了压电体的压电效应的压电式，若在使驱动振动片振动的状态下被施加角速度，则输出与角速度相应的传感器信号电荷）。[0006]由此，由于将角速度传感器与被搭载构件连接的连接构件的高度比将加速度传感器与被搭载构件连接的连接构件的高度高，因此能够抑制角速度传感器的振动向加速度传感器传达。因此，能够抑制角速度传感器的振动成为对加速度传感器的噪声机械噪声）。[0007]现有技术文献[0008]专利文献[0009]专利文献1:日本特开2014-13207号公报发明内容[0010]然而，在这种复合传感器中，为了抑制电噪声对加速度传感器及角速度传感器的影响，存在在被搭载构件上形成有维持基准接地电位的屏蔽图案Shieldpattern的情况。[0011]但是，在形成屏蔽图案的情况下，若将对角速度传感器的屏蔽图案和对加速度传感器的屏蔽图案设为共同的屏蔽图案，则存在噪声在各传感器之间相互干扰的情况，由此检测精度下降。[0012]本公开的目的在于提供一种能够抑制因电噪声而导致检测精度下降的复合传感器。[0013]根据本公开的第一方式，复合传感器具备第1传感器、第2传感器、电路基板、被搭载构件、第1屏蔽图案、第2屏蔽图案及第3屏蔽图案。第1传感器输出与检测对象相应的第1传感器信号。第2传感器输出与不同于第1传感器的检测对象的检测对象相应的第2传感器信号。电路基板与第1、第2传感器电连接。被搭载构件具有一面，在一面上配置第1、第2传感器及电路基板。第1屏蔽图案作为对电路基板的噪声屏蔽部而发挥功能。第2屏蔽图案作为对第1传感器的噪声屏蔽部而发挥功能。第3屏蔽图案作为对第2传感器的噪声屏蔽部而发挥功能。第1屏蔽图案的阻抗比第2、第3屏蔽图案低。第2屏蔽图案与第3屏蔽图案经由第1屏蔽图案电连接。[0014]由此，第2屏蔽图案及第3屏蔽图案经由阻抗最低的第1屏蔽图案连接。因此，能够抑制施加到第2屏蔽图案的噪声向第3屏蔽图案传播，并且能够抑制被施加到第3屏蔽图案的噪声向第2屏蔽图案传播。因此，能够抑制电噪声在第1、第2传感器之间相互干扰，能够抑制检测精度下降。附图说明[0015]本公开的上述目的及其他目的、特征及优点通过参照附图进行的下述详细说明将得到进一步明确。在附图中：[0016]图1是本公开的第1实施方式的复合传感器的俯视图。[0017]图2是沿着图1所示的II-II线的剖视图。[0018]图3是沿着图1所示的III-III线的剖视图。[0019]图4是加速度传感器中的传感器部的俯视图。[0020]图5是沿着图4中的V-V线的剖视图。[0021]图6是角速度传感器中的传感器部的俯视图。[0022]图7是角速度传感器中的支撑部的俯视图。[0023]图8是沿着图7中的VIII-VIII线的剖视图。[0024]图9是图1所不的外壳的俯视不意图。[0025]图10是本公开的第2实施方式中的外壳的俯视示意图。具体实施方式[0026]以下，基于附图说明本公开的实施方式。另外，在以下各实施方式彼此中，对彼此相同或均等的部分标注同一符号来进行说明。[0027]第1实施方式）[0028]参照附图说明本公开的第1实施方式。在本实施方式中，如图1〜图3所示，复合传感器在作为被搭载构件的封装10中搭载加速度传感器100、角速度传感器200、对加速度传感器100及角速度传感器200进行规定的处理的电路基板300而构成。另外，在本实施方式中，加速度传感器1〇〇相当于第1传感器，角速度传感器200相当于第2传感器。此外，在图1中，省略后述的盖60来进行图不。[0029]首先，说明本实施方式的加速度传感器100的结构。本实施方式的加速度传感器100是所谓的电容式，输出第1传感器信号。在本实施方式中，加速度传感器100使用平面形状为矩形状的SOISilicononInsulator基板114来构成，如图4及图5所示，SOI基板114在支撑基板111上经由绝缘膜112层叠有半导体层113。另外，支撑基板111例如使用硅基板等，绝缘膜112使用Si02、SiN等，半导体层113使用硅基板、多晶硅等。[0030]并且，在S0I基板114上实施周知的微机械加工而形成有传感部115。具体地说，在半导体层II3上，通过形成槽部116而形成有具有梳齿形状的梁构造体的可动部120及第1、第2固定部130、140,通过该梁构造体形成输出与加速度相应的传感器信号的传感部115。另夕卜，半导体层113中的隔着槽部116包围可动部120及第1、第2固定部130、140的部分为周边部150。[0031]在绝缘膜112上，在与梁构造体120〜140的形成区域对应的部位形成有开口部117。由此，成为半导体层113中的可动部120及第1、第2固定部130、140的规定区域从支撑基板111脱离Release的状态。[0032]可动部120被配置成横穿开口部117,成为矩形状的锤部121中的长边方向的两端经由梁部122而与锚部123a、123b—体连结的结构。锚部123a、123b在开口部117的开口缘部经由绝缘膜112支撑在支撑基板111上。由此，锤部121及梁部122成为面对开口部117的状〇[0033]梁部122为平行的2根梁在其两端连结而成的矩形框状，具有向与2根梁的长边方向正交的方向位移的弹簧功能。具体地说，梁部122在收到了包含沿着锤部121的长边方向的方向的成分的加速度时，使锤部121向长边方向位移，并且与加速度的消失相应地恢复成原来的状态。因此，经由这种梁部122与支撑基板111连结的锤部121在被施加加速度时向梁部122的位移方向位移。[0034]此外，可动部120具备在与锤部121的长边方向正交的方向上从锤部121的两侧面向相互相反的方向一体地突出形成的多个可动电极124。在图4中，可动电极124在锤部121的左侧及右侧分别突出形成有6个，成为面对开口部117的状态。此外，各可动电极124与锤部121及梁部122—体地形成，通过梁部122的位移，能够和锤部121—起向锤部121的长边方向位移。[0035]第1、第2固定部130、140在开口部117的开口缘部中的没有支撑有锚部123a、123b的对置边部经由绝缘膜112而支撑于支撑基板111。即，第1、第2固定部130、140被配置成夹着可动部120。在图4中，第1固定部130相对于可动部120配置在纸面左侧，第2固定部140相对于可动部120配置在纸面右侧。并且，第1、第2固定部130、140彼此电独立。[0036]此外，第1、第2固定部130、140具有与可动电极124的侧面具有规定的检测间隔地以平行的状态对置配置的多个第1、第2固定电极131、141、以及经由绝缘膜112支撑于支撑基板111的第1、第2布线部132、142。[0037]在本实施方式中，第1、第2固定电极m、141如图4所示各形成有6个，以与可动电极124的梳齿的间隙啮合的方式排列成梳齿状。并且，以悬臂状支撑于各布线部132、142,从而成为面对开口部117的状态。[0038]此外，在可动部120及第1、第2固定部130、140上形成有与后述的电路基板300上所形成的焊盘301电连接的可动电极用焊盘161、第1、第2固定电极用焊盘162、163。具体地说，可动电极用焊盘161及第1、第2固定电极用焊盘162、163被配置成各自的形成区域位于相反侧。详细说明的话，可动电极用焊盘161形成在位于SOI基板114半导体层113中的相对的1组一边中的一方的一边图4中纸面上侧的一边的附近的锚部123a，第1、第2固定电极用焊盘162、163形成在位于另一方的一边（图4中纸面下侧的一边的附近的第1、第2布线部132、142的规定部位。[0039]进一步，在本实施方式中，在周边部150的规定部位形成有与后述的电路基板300上所形成的焊盘302电连接的周边部用焊盘164。[0040]以上是本实施方式中的加速度传感器100的结构。接着，说明上述加速度传感器100的工作。上述加速度传感器100如图4中的电容器记号所示那样，在可动电极124与第1固定电极131之间构成第1电容Csl，在可动电极124与第2固定电极141之间构成第2电容Cs2。并且，在检测加速度时，从电路基板300对可动电极124可动电极用焊盘161施加具有规定的振幅、频率的脉冲状的输入信号载波Carrierwave。若在该状态下被施加沿着锤部121的长边方向（可动电极124及第1、第2固定电极131、141的排列方向）的方向的加速度，则伴随着可动电极124的位移，第1、第2电容Csl、Cs2发生变化。因此，基于第1、第2电容Csl、Cs2之差第1、第2固定电极用焊盘162、163的电位），检测出加速度。[0041]S卩，在本实施方式中，可动电极用焊盘161相当于输入端子，并且第1、第2固定电极用焊盘162、163相当于输出端子。以下，将可动电极用焊盘161还称为加速度传感器100的输入端子161，将第1、第2固定电极用焊盘162、163还称为加速度传感器100的输出端子162、163。另外，周边部用焊盘164被施加基准接地电位，以抑制支撑基板111及周边部150的电位变动。[0042]接着，说明角速度传感器200的结构。本实施方式的角速度传感器200是所谓的压电式，输出与角速度相应的第2传感器信号。角速度传感器200包括图6所示的传感器部210、以及图7及图8所示的支撑传感器部210的支撑部220。[0043]首先，说明传感器部210的结构。传感器部210如图6所示在作为压电材料的石英quartz等基板211上实施周知的微机械加工而构成。在图6中，将x轴方向设为图6中纸面左右方向，将y轴方向设为在基板211的面方向上与x轴方向正交的方向，将z轴方向设为与x轴方向及y轴方向正交的方向。[0044]传感器部210与构成基板211的石英的晶轴对齐地形成在xy平面上，相对于中心成点对称的形状。具体地说，传感器部210具有矩形状的基部212。并且，在基部212上设置有从与xz平面平行的2个端面的大致中央部分别沿着y轴方向延伸设置的第1、第2连结部213a、213b、以及从与yz平面平行的2个端面的大致中央部分别沿着x轴方向延伸设置的第1、第2检测振动片214a、214b。另外，第1、第2连结部213a、213b分别以相对于基部212成为相反方向的方式沿着y轴方向延伸设置。此外，第1、第2检测振动片214a、214b分别以相对于基部212成为相反方向的方式沿着x轴方向延伸设置。[0045]在第1、第2连结部213a、213b上，在与基部212侧相反的一侧的前端部沿着x轴方向分别设置有第1、第2驱动振动片215a、215b。另外，第1、第2驱动振动片215a、215b在延伸设置方向的大致中央部分别与第1、第2连结部213a、213b连结。[0046]此外，在第1、第2检测振动片214a、214b及第1、第2驱动振动片215a、215b上，分别形成有未图示的电极。具体地说，在第1、第2检测振动片214a、214b上，分别形成有未图示的第1、第2检测电极。在第1、第2驱动振动片215a、215b上，分别形成有未图示的第1、第2驱动电极及第1、第2调整电极接地电极）。另外，第1驱动振动片215a上所形成的第1驱动电极及第2驱动振动片215b上所形成的第2驱动电极形成为相对于第1、第2检测振动片214a、214b彼此位于相反侧。例如，在第1驱动电极形成在第1驱动振动片215a中的与第1、第2检测振动片214a、214b对置的面上的情况下，第2驱动电极形成在第2驱动振动片215b中的与第1、第2检测振动片214a、214b对置的面的相反侧的面上。[0047]进一步，在基部212上，在由支撑部220支撑的一侧的面上形成有未图示的6个台Land电极图案）。具体地说，形成有与第1检测振动片214a上所形成的第1检测电极连接的第1检测台、与第2检测振动片214b上所形成的第2检测电极连接的第2检测台。此外，形成有与第1驱动振动片215a上所形成的第1驱动电极及第2驱动振动片215b上所形成的第2驱动电极连接的驱动台、与第1驱动振动片215a上所形成的第1调整电极及第2驱动振动片215b上所形成的第2调整电极连接的调整台接地台）。进一步，形成有第1、第2接地台，该第1、第2接地台被配置在第1、第2检测台、驱动台、及调整台之间，减少因被施加接地电位而在第1、第2检测台、驱动台及调整台之间产生的杂散电容Floatingcapacitance。并且，这些第1、第2检测台、驱动台、调整台及第1、第2接地台经由支撑部220的后述的第1〜第6引线241〜246与电路基板300电连接。[0048]以上是本实施方式中的角速度传感器200的传感器部210的结构。接着，说明支撑部220。[0049]支撑部220如图7及图8所示通过由聚酰亚胺树脂等形成的绝缘构件230上设置有由铜箱等形成的第1〜第6引线241〜246的所谓的TABTapeAutomatedBonding带构成。具体地说，绝缘构件230是平面形状为大致矩形状，在大致中央部形成有器件孔Devicehole231。在第1〜第6引线241〜246中，一端部241a〜24fe被配置在绝缘构件23〇的背面230b侧的器件孔231的周边，另一端部241b〜246b以从器件孔231内向绝缘构件230的表面230a侧突出的方式弯折。[0050]并且，在第1〜第6引线241〜246中，一端部241a〜246a与形成在后述的外壳20上的连接端子41〜46电连接。此外，第1、第2引线24U242的另一端部分别连接于与第1、第2检测振动片214a、214b上所形成的第1、第2检测电极连接的第1、第2检测台。第3引线243的另一端部连接于与第1、第2驱动振动片215a、215b上所形成的第1、第2调整电极连接的调整台，第4引线244的另一端部连接于与第1、第2驱动振动片215a、215b上所形成的第1、第2驱动电极连接的驱动台。第5、第6引线245、246的另一端部分别连接于第1、第2接地台连接。由此，传感器部210以与绝缘构件230分离的状态被保持。[0051]在此，说明第1〜第6引线241〜246的一端部241a〜246a的配置关系。在本实施方式中，如图7所示，在从绝缘构件230的表面230a的法线方向观察时，第1〜第3引线241〜243的一端部241a〜243a和第4〜第6引线244〜246的一端部244a〜246a形成在相反侧的端部。[0052]具体地说，第1〜第3引线241〜243的一端部241a〜243a配置在绝缘构件230中的相对的1组一边中的一方的一边（图7中纸面上侧的一边的附近，第4〜第6引线244〜246的一端部244a〜246a配置在另一方的一边图8中纸面上侧的一边）的附近。换言之，也可以说第1〜第3引线241〜243的一端部241a〜24fe和第4〜第6引线244〜246的一端部244a〜246a配置在隔着器件孔231的2个区域。[0053]以上是本实施方式中的角速度传感器200的结构。另外，在图1中省略支撑部22〇中的绝缘构件230来进行图示。[0054]接着，说明上述角速度传感器200的工作。上述角速度传感器2〇〇在检测角速度时，第1驱动振动片215a上所形成的第1驱动电极及第2驱动振动片215b上所形成的第2驱动电极第4引线244的一端部244a被施加具有规定的振幅、频率的脉冲状的输入信号载波）。由此，由于在第1、第2驱动振动片215a、215b上相对于第1、第2检测振动片214a、214b而言第1、第2驱动电极形成为位于彼此相反的位置，因此第1、第2驱动振动片215a、215b沿着图6中的y轴方向向相反方向驱动振动。即，第1、第2驱动振动片215a、215b以彼此开闭的方式驱动振动。[0055]另外，在没有施加角速度的状态下，从第1、第2驱动振动片215a、215b向第1、第2检测振动片214a、214b施加的力矩为相反方向而抵消，因此第1、第2检测振动片214a、214b为几乎静止的状态。此外，在本实施方式中，向第1驱动振动片215a的第1驱动电极及第2驱动振动片215b的第2驱动电极（第4引线244的一端部244a输入的输入信号是至少到5次谐波为止不会与向加速度传感器100输入的输入信号结合combine的频率，彼此的输入信号难以共振。[0056]并且，若第1驱动振动片215a的第1调整电极及第2驱动振动片215b的第2调整电极第3引线243的一端部243a上所产生的电荷被输入到电路基板300,则通过形成在电路基板300上的IV转换电路电流电压转换电路）、调整输入信号的振幅的自动增益控制电路，向第1驱动振动片215a的第1驱动电极及第2驱动振动片215b的第2驱动电极第4引线244的一端部244a输入的输入信号被调整。[0057]S卩，与第1驱动振动片215a的第1驱动电极及第2驱动振动片215b的第2驱动电极连接的第4引线244成为输入输入信号的输入部，第4引线244的一端部244a成为输入端子。另一方面，与第1驱动振动片215a的第1调整电极及第2驱动振动片215b的第2调整电极连接的第3引线243成为向电路基板300输出电荷的输出部，第3引线243的一端部243a成为输出端子。以下，将第3引线243的一端部243a设为输出端子243a，将第4引线244的一端部244a设为输入端子来进行说明。[0058]并且，在该状态下，若绕z轴方向施加角速度《，则由于哥氏力Coriolisforce，第1、第2驱动振动片215a、215b在x轴方向上向相反方向振动。由此，第1、第2检测振动片214a、214b进行以z轴方向为轴的周向反向的振动。并且，在第1、第2检测振动片214a、214b上所形成的未图示的第1、第2检测电极第1、第2引线241的一端部241a、242a上产生与振动相应的电荷，该电荷向电路基板300输出，由此进行角速度的检测。即，与第1、第2检测振动片214a、214b连接的第1、第2引线24U242的一端部241a、242a成为输出端子。以下，将第1、第2引线241、242的一端部241a、242a设为输出端子241a、242a来进行说明。[0059]电路基板300形成有对加速度传感器1〇〇及角速度传感器200进行规定的处理的放大电路、IV转换电路、自动增益控制电路、比较器、布线等各种电路。并且，如图1所示，具有与加速度传感器100连接的焊盘301、3〇2、与连接端子51连接的焊盘3〇3、与连接端子52连接的焊盘304。另外，焊盘303经由形成在电路基板300内的布线与焊盘302电连接。此外，在本实施方式中，电路基板300向外部电路输出基于从加速度传感器100的输出端子162、163及角速度传感器2〇〇的输出端子241a、242a输出的信号的模拟信号。[0060]接着，说明封装10的基本构造。[0061]封装10如图2、图3所示是具有外壳20和盖60的结构。外壳20在本实施方式中使用依次层叠有由铝等构成的第1〜第9陶瓷层21〜29的多层基板来构成，是在一面20a形成有凹部3〇的箱形状。另外，外壳2〇的一面20a由第1陶瓷层21的表面21a构成，并且另一面20b由第9陶瓷层29的背面2%构成。此外，第1〜第9陶瓷层21〜29各自的表面21a〜29a配置在一面20a侧，背面21b〜2%配置在另一面20b侧。[0062]、凹部30在本实施方式包括从第1陶瓷层21遍及第2陶瓷层22而形成的第丨凹部31、从构成弟1凹部31的底面的弟3陶瓷层23遍及第4陶瓷层24而形成的第2凹部32参照图2、以及从构成第2凹部32的底面的第5陶瓷层25遍及第6陶瓷层26而形成的第3凹部33。[0063]此外，在外壳20上，如图1、图3所示，在构成第丨凹部w的底面的第3陶瓷层23的表面2：3a上设置有第1〜第63^接端子41〜祕。此外，在构成第2凹部32的底面的第5陶瓷层25的表面25a上，如图1、图2所示，形成有连接端子51和多个连接端子52。并且，第i〜第6连接端子41〜妨和多个连接端子52的一部分经由外壳20的内部及第i〜第3凹部31〜33的壁面等上所形成的未图示的布线层、通孔电极等适当电连接。[00M]另外，在本实施方式中，第1〜第6连接端子41〜46相当于第2传感器用连接端子，连接端子51相当于第1传感器用连接端子。_5]盖60使用金属等构成，经由未图示的导电性粘接剂等与外壳2〇的一面2〇a接合。由此，外壳20被封闭，外壳20内被气密地密封。在本实施方式中，外壳20内为真空压。以上是本实施方式中的封装10的基本结构。[0066]并且，在这样的封装10中收容有上述加速度传感器1〇〇、角速度传感器2〇〇、电路基板300。具体地说，如图1〜图3所示，在第3凹部33的底面第7陶瓷层27的表面27a，经由粘接剂71搭载有电路基板300。并且，加速度传感器1〇〇及角速度传感器200在从第3凹部33的底面的法线方向（以下，简称为法线方向）观察时在电路基板300上外壳20内）排列配置。[0067]详细说明的话，加速度传感器100如图1及图2所示经由粘接剂72搭载在电路基板300上。并且，输入端子161及输出端子162、163经由导线81与电路基板300的焊盘301电连接，并且周边部用焊盘164经由导线81与电路基板300的焊盘302电连接。[0068]在角速度传感器200中，第1〜第6引线241〜246的一端部241a〜246a经由未图示的焊料等导电性构件电、机械地连接在第2凹部32的底面上所形成的第1〜第6连接端子41〜46上，成为传感器部210在外壳20内的空间内被中空保持的状态。即，角速度传感器200在与电路基板300分离的状态下收容在外壳20内。另外，在本实施方式中，第3凹部33的底面第7陶瓷层27的表面27a相当于被搭载构件的一面，可以说加速度传感器100和角速度传感器200位于被搭载构件的一面上。[0069]进一步详细说明的话，加速度传感器100如前所述那样输入端子161和输出端子162、163在相反侧分离配置。同样，角速度传感器200如前所述那样输入端子244a和输出端子241a〜243a在相反侧分离配置。并且，如图1所示，加速度传感器100及角速度传感器200被配置成加速度传感器100的输入端子161及角速度传感器200的输入端子244a位于同一侧，且被配置成加速度传感器100的输出端子162、163及角速度传感器200的输出端子241a〜243a位于同一侧。即，将沿着加速度传感器100和角速度传感器200的排列方向的方向、且经过加速度传感器100及角速度传感器200的中心的直线设为假想线K时，加速度传感器100的输入端子161及角速度传感器200的输入端子244a被配置在被假想线K分割出的一方的区域侧在图1中为假想线K的纸面下侧），加速度传感器1〇〇的输出端子162、163及角速度传感器200的输出端子241a〜243a被配置在另一方的区域侧在图1中为假想线K的纸面上侧）。换言之，加速度传感器100的输入阻抗低的端子及角速度传感器2〇〇的输入阻抗低的端子244a被配置在被假想线K分割出的一方的区域侧（在图1中为假想线K的^面下侧），加速度传感器1〇〇的输出阻抗高的端子162、163及角速度传感器2〇〇的输出阻抗高的端子241a〜243a被配置在被假想线K分割出的另一方的区域侧（在图1中为假想线K的纸面上侧。[0070]此外，形成在电路基板300上且不与加速度传感器1〇〇的各焊盘161〜163连接的焊盘303经由导线81与形成在第2凹部32的底面的连接端子51电连接。由此，周边部用焊盘164经由焊盘302、303与连接端子51连接。[0071]另外，焊盘303在本实施方式中从法线方向观察时，形成在加速度传感器1〇〇的输出端子162、163与角速度传感器200的输出端子241a〜243a之间。具体地说，焊盘303比与加速度传感器100的输出端子162、163连接的电路基板300的焊盘3〇1靠角速度传感器200—侧而配置。因此，连接焊盘303及连接端子51的导线81形成在连接加速度传感器100的输出端子162、163及电路基板300的焊盘301的导线81与角速度传感器200的输出端子241a〜243a及形成在第1凹部31的底面上的第1〜第3连接端子41〜43的连接部之间。此外，连接端子51被固定为规定的基准接地电位，周边部用焊盘164周边部150通过与连接端子51连接而固定为基准电位。[0072]此外，形成在电路基板300上且不与加速度传感器100连接焊盘304经由导线81与形成在第2凹部32的底面的连接端子52电连接。[0073]另外，连接各焊盘304与连接端子52的导线81如图2所示那样以挠曲的状态配置在焊盘304与连接端子51之间，但被配置成最远离第3凹部33的底面第7陶瓷层27的表面27a的部分比加速度传感器100中的位于与电路基板300侧相反的一侧的部分（图5所示的半导体层113中的与绝缘膜112侧相反的一侧的一面更位于第3凹部33的底面侧。[0074]以上是本实施方式中的复合传感器的基本结构。接着，说明本实施方式的特征即外壳20的构造。[0075]在本实施方式中，在外壳20上，如图2、图3、图9所示，形成有作为噪声屏蔽部的第1〜第3屏蔽图案保护环91〜93。具体地说，第1屏蔽图案91形成在第7陶瓷层27的表面27a上，第2屏蔽图案92形成在第6陶瓷层26的表面26a上，第3屏蔽图案93形成在第4陶瓷层24的表面24a上。即，第1〜第3屏蔽图案91〜93分别形成在不同的陶瓷层的表面上。[0076]更详细说明的话，第1屏蔽图案91在第7陶瓷层27的表面27a中的与电路基板300对置的部分形成为大致矩形状，以主要作为对电路基板300的噪声屏蔽部发挥功能。第2屏蔽图案92形成为包括第6陶瓷层26的表面26a中的与连接端子51对置的部分的大致L字状，以主要作为对加速度传感器100加速度传感器100中的周边部150的电位，且与周边部150连接的连接端子51的噪声屏蔽部发挥功能。第3屏蔽图案93形成为包括第4陶瓷层24的表面24a中的与角速度传感器200的各端子241a〜246a对置的部分的大致U字状，以主要作为对角速度传感器200的噪声屏蔽部发挥功能。[0077]此外，在外壳20上设置有在贯通陶瓷层的贯通孔94a中埋入电极94b而构成的多个通孔电极94。并且，第2屏蔽图案92及第3屏蔽图案93分别经由通孔电极94及适当形成在陶瓷层的表面上的布线层95与第1屏蔽图案91电连接。具体地说，第2屏蔽图案92经由形成在第6陶瓷层26中的通孔电极94与第1屏蔽图案91电连接参照图2。此外，第3屏蔽图案93经由形成在第4〜第6陶瓷层24〜26中的通孔电极94及形成在第5、第6陶瓷层25、26的表面25a、26a上的布线层％与第1屏蔽图案91电连接参照图3。即，第2屏蔽图案92与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极94及第3屏蔽图案93与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极94的数量不同。在本实施方式中，第2屏蔽图案92与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极94的数量比第3屏蔽图案93与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极94的数量少。[0078]此外，在外壳20上，如图2所示，在另一面2〇b形成有外部连接端子％。并且，第1屏蔽图案91经由形成在第7〜第9陶瓷层27〜29中的通孔电极94及形成在第8、第9陶瓷层28、29的表面28a、29a上的布线层95与外部连接端子96电连接，从而实现与外部电路接地）的连接。另外，各连接端子51、52虽然没有特别图示，但也经由适当形成在陶瓷层的布线层及通孔电极与形成在外壳20的另一面20b上的外部连接端子电连接。[0079]如上所述构成本实施方式的外壳20。在这样的外壳2〇中，通孔电极M本身具有微小的电阻成分，第2屏蔽图案92与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极94的数量比第3屏蔽图案93与第1屏蔽图案91之间所设置的通孔电极⑽的数量少。因此，按第1屏蔽图案91、第2屏蔽图案92、第3屏蔽图案93的顺序，阻抗升高。即，第2屏蔽图案犯与第3屏蔽图案⑽经由阻抗最低的第1屏蔽图案91连接。因此，向第2屏蔽图案92施加的噪声在传播到第1屏蔽图案91之后容易向外部连接端子96传播，能够抑制该噪声向第3屏蔽图案93传播。即，能够抑制对加速度传感器100的噪声影响角速度传感器2〇〇。同样，施加到第3屏蔽图案93的噪声在传播到第1屏蔽图案91之后容易向外部连接端子96传播，能够抑制该噪声向第2屏蔽图案92传播。即，能够抑制对角速度传感器200的噪声影响加速度传感器1〇〇。[0080]另外，由于第2屏蔽图案92及第3屏蔽图案93的阻抗比第1屏蔽图案91高，因此向第1屏蔽图案91施加的噪声直接向外部连接端子96传播。[0081]如以上说明的那样，在本实施方式中，第2屏蔽图案92及第3屏蔽图案93经由阻抗最低的第丨屏蔽图案91连接。因此，能够抑制施加到第2屏蔽图案92的噪声向第3屏蔽图案93传播，并且能够抑制施加到第3屏蔽图案93的噪声向第2屏蔽图案92传播。因此，能够抑制电噪声在加速度传感器100与角速度传感器200之间相互干扰，能够抑制加速度传感器1〇〇及角速度传感器200的检测精度降低。[0082]此外，在本实施方式中，加速度传感器100的输入端子161及角速度传感器200的输入端子244a被配置在被假想线K分割出的一方的区域侧，加速度传感器1〇〇的输出端子I62、163及角速度传感器200的输出端子241a〜243a被配置在被假想线K分割出的另一方的区域侧。即，容易成为噪声源的信号所输入的输入端子161、244a与容易受到噪声的影响的输出端子162、163、241a〜243a被分离配置。因此，能够抑制向输入端子161、244a输入的信号对从输出端子162、163、241a〜243a输出的信号造成影响，能够抑制检测精度降低。[0083]此外，由于如上所述那样加速度传感器100及角速度传感器200的输入端子161、244a及输出端子162、163、241a〜243a被整合配置在同一侧，因此容易进行形成在外壳20的内部及第1〜第3凹部31〜33的壁面等的布线层的设计布置。[0084]并且，导线82被配置成最远离第3凹部33的底面的部分比加速度传感器1〇〇中的位于与电路基板300侧相反的一侧的部分半导体层113中的与绝缘膜112侧相反的一侧的一面更位于第3凹部33的底面侧。即，将导线82缩短。由此，能够降低在导线82上产生的寄生电容，能够抑制该寄生电容对检测精度造成影响。[0085]进一步，在本实施方式中，加速度传感器100是电容式，角速度传感器200是压电式。因此，作为角速度传感器200,共振频率的范围变窄，能够提高灵敏度。此外，作为加速度传感器100,能够提高Q值，能够抑制因角速度传感器200的振动引起检测精度下降。[0086]此外，加速度传感器100经由电路基板300搭载在第3凹部33的底面上，角速度传感器200与形成在第1凹部31的底面上的第1〜第6连接端子41〜46连接。即，加速度传感器1〇〇和角速度传感器200所接合的区域不同。因此，能够抑制角速度传感器200的振动传递到加速度传感器1〇〇,还能够抑制因机械噪声（角速度传感器200的振动）而导致加速度传感器100的检测精度下降。[0087]进一步，外壳20由盖60封闭（气密密封）。即，第1〜第3屏蔽图案91〜93被配置在封闭的空间内。因此，与外壳20没有被封闭的情况相比，噪声难以从外部向外壳20内导入，能够进一步抑制加速度传感器1〇〇及角速度传感器200的检测精度下降。[0088]第2实施方式）[0089]说明本公开的第2实施方式。本实施方式相对于第1实施方式而言改变了将第2屏蔽图案92与第1屏蔽图案91连接的通孔电极94的形成部位、以及将第3屏蔽图案93与第1屏蔽图案91连接的通孔电极94的形成部位，其他与第1实施方式相同，因此在此省略说明。[0090]在本实施方式中，如图10所示，第2屏蔽图案92中最与第3屏蔽图案93相邻的部分经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接。同样，第3屏蔽图案93中最与第2屏蔽图案92相邻的部分经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接。[0091]由此，能够进一步抑制噪声在第2屏蔽图案92与第3屏蔽图案93之间相互传播。即，在第2屏蔽图案92中的最与第3屏蔽图案93相邻的部分没有经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接的情况下，存在施加到第2屏蔽图案92的噪声从第2屏蔽图案92中的最与第3屏蔽图案93相邻的部分不经由第1屏蔽图案91而是直接经由空中）向第3屏蔽图案93传播的情况。同样，在第3屏蔽图案93中的最与第2屏蔽图案92相邻的部分没有经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接的情况下，存在施加到第3屏蔽图案93的噪声从第3屏蔽图案93中的最与第2屏蔽图案92相邻的部分不经由第1屏蔽图案91而是直接经由空中）向第2屏蔽图案92传播的情况。而通过构成为本实施方式那样，噪声容易从第2、第3屏蔽图案92、93的彼此最相邻的部分向第1屏蔽图案91传播，能够进一步抑制噪声在第2屏蔽图案92与第3屏蔽图案93之间相互传播。[0092]其他实施方式）[0093]在上述各实施方式中，第1、第2传感器的组合可以适当变更，例如，还可以将第1传感器设为仅检测规定的一个方向的加速度的加速度传感器100,将第2传感器设为仅检测与该一个方向正交的一个方向的加速度的加速度传感器100。[0094]此外，在上述各实施方式中，对于加速度传感器100，在检测加速度时，还可以从电路基板300向第1、第2固定电极131、141第1、第2固定电极用焊盘162、163施加具有规定的振幅、频率的脉冲状的输入信号载波）。在这样的加速度传感器100的情况下，第1、第2固定电极用焊盘162、163成为输入端子，可动电极用焊盘161成为输出端子。[0095]进一步，在上述各实施方式中，角速度传感器200还可以是所谓的电容式。[0096]此外，在上述各实施方式中，也可以是第3屏蔽图案93的阻抗比第2屏蔽图案92低。BP，第2屏蔽图案92和第3屏蔽图案93只要经由阻抗最低的第1屏蔽图案91来电连接，则彼此的阻抗的大小就可以适当变更。[0097]进一步，在上述各实施方式中，例如也可以是，加速度传感器100的输入端子161及角速度传感器200的输出端子24la〜243a被配置在被假想线K分割出的一方的区域侧，加速度传感器100的输出端子162、163及角速度传感器2〇〇的输入端子244a被配置在被假想线K分割出的另一方的区域侧。在这样的复合传感器的情况下，也能够通过将第2屏蔽图案92和第3屏蔽图案93经由第1屏蔽图案91来进行电连接，来抑制电噪声在加速度传感器100与角速度传感器200之间相互干扰。[0098]并且，在上述第2实施方式中，在第2屏蔽图案92与第3屏蔽图案93相邻的部分，还可以是只有一方的屏蔽图案与第1屏蔽图案91连接。例如，只要第3屏蔽图案93中的与第2屏蔽图案92相邻的部分经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接，则第2屏蔽图案92还可以在与和第3屏蔽图案93相邻的部分不同的部分第1实施方式经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接。同样，只要第2屏蔽图案92中的与第3屏蔽图案93相邻的部分经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接，则第3屏蔽图案93还可以在与和第2屏蔽图案92相邻的部分不同的部分第1实施方式经由通孔电极94与第1屏蔽图案91连接。[00"]根据实施了说明了本公开，但应理解本公开不限定于该实施例及构造。本公开还包括各种变形例及均等范围内的变形。此外，各种组合及方式、以及在此基础上包括一个要素、其以上或以下的其他组合及方式也在本公开的范畴及思想范围内。

权利要求：1.一种复合传感器，具备：第1传感器100，输出与检测对象相应的第1传感器信号；第2传感器200，输出与不同于上述第1传感器的检测对象的检测对象相应的第2传感器信号；电路基板300，与上述第1、第2传感器电连接；被搭载构件（10，具有一面27a，在上述一面上配置上述第1、第2传感器及上述电路基板；第1屏蔽图案91，作为对上述电路基板的噪声屏蔽部而发挥功能；第2屏蔽图案92，作为对上述第1传感器的噪声屏蔽部而发挥功能；以及第3屏蔽图案93，作为对上述第2传感器的噪声屏蔽部而发挥功能，上述第1屏蔽图案的阻抗比上述第2、第3屏蔽图案低，上述第2屏蔽图案与上述第3屏蔽图案经由上述第1屏蔽图案电连接。2.根据权利要求1所述的复合传感器，其中，上述被搭载构件具有外壳20，该外壳20包括具有表面21a〜29a及与上述表面相反侧的背面21b〜2%的多个层21〜29依次层叠而成的多层基板，在上述外壳中形成有将上述多个层的层叠方向作为深度方向的凹部30，上述被搭载构件的上述一面由构成上述外壳中所形成的凹部30的底面的上述多个层中的一个层的表面构成，上述第1屏蔽图案形成于上述一面，上述第2屏蔽图案形成于与构成上述一面的上述层的表面不同的上述多个层中的一个层的表面，上述第3屏蔽图案形成于与构成上述一面的上述层的表面不同的上述多个层中的一个层的表面，上述第2屏蔽图案及上述第3屏蔽图案经由形成在上述外壳内的通孔电极94与上述第1屏蔽图案电连接。3.根据权利要求2所述的复合传感器，其中，上述被搭载构件具有上述外壳和封闭形成在上述外壳中的凹部的盖60，上述凹部内被气密地密封。4.根据权利要求2或3所述的复合传感器，其中，在从上述一面的法线方向观察时，在上述第2屏蔽图案与上述第3屏蔽图案最相邻的部分，上述第2屏蔽图案及上述第3屏蔽图案中的至少一方经由上述通孔电极与上述第1屏蔽图案电连接。5.根据权利要求2至4中的任一项所述的复合传感器，其中，在上述被搭载构件中，在上述多个层中的一个层的表面上形成有与上述第1传感器连接的第1传感器用连接端子51，并且在上述多个层中的一个层的表面上形成有与上述第2传感器连接的第2传感器用连接端子41〜46，形成有上述第2屏蔽图案的上述层位于形成有上述第1传感器用连接端子的上述层的下方，形成有上述第3屏蔽图案的上述层位于形成有上述第2传感器用连接端子的上述层的下方。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的复合传感器，其中，上述第1、第2传感器分别具有用于输入具有规定的振幅及频率的输入信号的输入端子161、244a及用于输出上述第1、第2传感器信号的输出端子（162、163、241a〜243a，在从上述一面的法线方向观察时，上述第1、第2传感器被排列配置，将沿着上述第1、第2传感器的排列方向的方向、且经过上述第1、第2传感器的中心的直线设为假想线K，在从上述一面的法线方向观察时，上述输入端子位于被上述假想线分割出的一方的同一区域侧，在从上述一面的法线方向观察时，上述输出端子位于被上述假想线分割出的另一方的同一区域侧。7.根据权利要求6所述的复合传感器，其中，上述第1传感器是加速度传感器，该加速度传感器具有能够根据加速度来位移的可动电极（124、以及与上述可动电极对置地配置的固定电极（13U141，并根据上述可动电极与上述固定电极之间的电容来输出上述第1传感器信号，上述第2传感器是角速度传感器，该角速度传感器具有使用压电材料构成的传感器部210、以及具有通过一方的端部（241b〜246b来将上述传感器部中空保持的多个引线241〜246的支撑部（220，上述输入端子及上述输出端子包括上述引线中的与上述传感器部侧相反的一侧的端部241a〜246a，上述角速度传感器若在使上述传感器部振动的状态下被施加角速度，则输出与该角速度相应的上述第2传感器信号。

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