申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2019-08-30

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN110502049B

主分类号：G05D23/30(20060101)

分类号：G05D23/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.07#授权;2019.12.20#实质审查的生效;2019.11.26#公开

摘要：本发明提供一种卡盘温度控制方法、卡盘温度控制系统及半导体设备，该方法包括：获取当前微波源的输出功率值；根据预设的温控关系表，基于所述输出功率值，调节输出至卡盘加热装置的加热功率控制值和输出至卡盘冷却装置的冷却介质流量控制值，以将卡盘的温度维持在目标温度值；其中，所述温控关系表中包括所述微波源的输出功率值与加热功率控制值、冷却介质流量控制值的对应关系。通过本发明，提高了卡盘温度的稳定性。

主权项：1.一种卡盘温度控制方法，其特征在于，所述方法包括：获取当前微波源的输出功率值；根据预设的温控关系表，基于所述输出功率值，调节输出至卡盘加热装置的加热功率控制值和输出至卡盘冷却装置的冷却介质流量控制值，以将卡盘的温度维持在目标温度值；其中，所述温控关系表中包括所述微波源的输出功率值与加热功率控制值、冷却介质流量控制值的对应关系。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 卡盘温度控制方法、卡盘温度控制系统及半导体设备

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