申请/专利权人:恩特格里斯公司
申请日:2020-04-27
公开(公告)日:2021-05-07
公开(公告)号:CN213140580U
主分类号:B65G53/02(20060101)
分类号:B65G53/02(20060101);B65D19/38(20060101)
优先权:["20190426 US 62/839,181"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.05.07#授权
摘要:本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘,其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法,其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器,其包括所述托盘中的一或多个。
主权项:1.一种用于汽化容器的托盘,其特征在于所述托盘包含:具有被配置成支撑固体试剂的表面的底板;侧壁;由所述底板和所述侧壁界定的内部空间;延伸穿过所述底板的一或多个通孔,所述一或多个通孔在所述底板的表面上方延伸;和延伸穿过和远离所述底板的中心管道;其中所述中心管道被配置成与在第一托盘的顶部上或下方堆叠的至少一个其它托盘流体连接,以允许载气流经所述托盘。
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