申请/专利权人：汨罗市福缘新材料有限公司

申请日：2020-09-08

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN213142284U

主分类号：C30B28/06(20060101)

分类号：C30B28/06(20060101);C30B29/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.07#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板，其包括上盖板、下盖板以及若干侧压块，上盖板上设进气孔，下盖板上设置有多个环形凸起，所述多个环形凸起中的最外侧环形凸起为完整的环形凸起，而最外侧环形凸起内侧的其他环形凸起上均匀设置有若干将环形凸起打断的横向连通孔；环形凸起之间以及环形凸起外侧对应的下盖板面上均匀成型有气孔；所述侧压块在外侧对上盖板、下盖板进行相对位置固定，且上盖板和下盖板通过侧压块固定后的板间间距大于等于环形凸起的高度，并在所述侧压块底部设置有用于卡装石墨侧护板的U型卡槽。本实用新型的石墨坩埚盖板具有较佳的结构稳定性，能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。

主权项：1.一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板，其特征在于，包括上盖板、下盖板以及若干侧压块，所述上盖板在中间位置设置有进气孔，所述下盖板的上表面成型有若干同心设置的环形凸起，所述环形凸起中的最外侧环形凸起为完整的环形凸起，对应设置于坩埚内径轮廓线向内20-50cm位置，而在最外侧环形凸起内侧的其他环形凸起上均匀设置有若干将环形凸起打断的横向连通孔；下盖板在对应最内侧环形凸起的外侧表面上均匀成型有气孔；所述侧压块设置于上盖板、下盖板外侧，对上盖板、下盖板进行相对位置固定，上盖板和下盖板通过侧压块固定后的板间间距大于等于环形凸起的高度，所述侧压块底部设置有用于卡装石墨侧护板的U型卡槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 汨罗市福缘新材料有限公司 一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板

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