申请/专利权人：汨罗市福缘新材料有限公司

申请日：2020-09-08

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN213142285U

主分类号：C30B28/06(20060101)

分类号：C30B28/06(20060101);C30B29/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.05.07#授权

摘要：本实用新型公开了一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。本实用新型能缓解硅蒸汽对石墨坩埚盖板的热应力冲击，从而有效抵抗盖板变形，提高盖板使用寿命，并改善氩气气流的循环状态。

主权项：1.一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，其特征在于，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 汨罗市福缘新材料有限公司 一种石墨坩埚盖板

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD