申请/专利权人：麒安科技有限公司

申请日：2020-11-11

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN213150806U

主分类号：H01L33/48(20100101)

分类号：H01L33/48(20100101);H01L33/64(20100101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2023.11.17#未缴年费专利权终止;2021.05.07#授权

摘要：一种自动放片机，包括晶圆平边对位单元、第一晶圆移动模块、第二晶圆移动模块、模具平边对位单元及移载机构，晶圆平边对位单元包括可转动的晶圆承载座及第一摄影模块，第一晶圆移动模块包括第一放置区及平移机构，第一放置区供第一晶圆片放置，平移机构将第一晶圆片由第一放置区移载至晶圆承载座上；第二晶圆移动模块包括第二放置区及翻面机构，第二放置区供第二晶圆片放置，翻面机构自第二放置区吸取第二晶圆片且翻转后放置于晶圆承载座上；模具平边对位单元包括可转动的模具承载座及第二摄影模块；移载机构依序将放置晶圆承载座的第一晶圆片、第二晶圆片移载至模具承载座上的模具上，以此将第一晶圆片及第二晶圆片特定表面对合且堆栈于模具上。

主权项：1.一种自动放片机，其特征在于，包括：一晶圆平边对位单元，包括晶圆承载座及第一摄影模块，所述晶圆承载座供晶圆片放置且能带动晶圆片旋转，所述第一摄影模块设置于所述晶圆承载座上方，所述摄影模块拍摄晶圆片影像，由所述晶圆承载座控制晶圆片停止旋转的位置，所述晶圆片包括第一晶圆片或第二晶圆片；一第一晶圆移动模块，包括第一放置区及平移机构，所述第一放置区供所述第一晶圆片放置，所述平移机构能将所述第一晶圆片由所述第一放置区移载至所述晶圆承载座上；一第二晶圆移动模块，包括第二放置区及翻面机构，所述第二放置区供所述第二晶圆片放置，所述翻面机构自所述第二放置区吸取所述第二晶圆片且翻转后放置于所述晶圆承载座上；一模具平边对位单元，包括模具承载座及第二摄影模块，所述模具承载座供一模具放置，且能带动所述模具转动，所述第二摄影模块设置于所述模具承载座上方，所述第二摄影模块拍摄所述模具的影像，由所述模具承载座控制所述模具停止旋转的位置；以及一移载机构，依序将放置所述晶圆承载座的所述第一晶圆片、所述第二晶圆片移载至所述模具承载座上的所述模具上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麒安科技有限公司 自动放片机

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