申请/专利权人：华东师范大学

申请日：2021-01-11

公开（公告）日：2021-06-04

公开（公告）号：CN112908875A

主分类号：H01L21/66(20060101)

分类号：H01L21/66(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.24#授权;2021.06.22#实质审查的生效;2021.06.04#公开

摘要：本发明涉及一种基于图像的失效ESD器件无损表征方法，其特点是采用激光扫描或光发射显微技术对失效初期器件进行漏电路径定位，以及X射线显微镜对失效后期ESD器件进行断层扫描和3D重构，基于图像的观测，对失效ESD器件进行全面的无损表征，得到不同失效阶段的原因，以指导器件的优化设计。本发明与现有技术相比具有利用无损的方法得到不同失效阶段的原因，找出器件的可靠性问题和设计存在的薄弱区域，从而达到ESD器件优化的结果，指导器件的优化设计，提高ESD器件的可靠性，有效减少系统成本，降低设计和布线的复杂度，尤其适用系统的研究ESD器件内在运行机制和需要优化的部分，在低压、高压集成电路中具有重要的应用前景。

主权项：1.一种基于图像的失效ESD器件的无损表征方法，其特征在于采用激光扫描或光发射显微技术对失效初期器件进行漏电路径定位，以及X射线显微镜对失效后期ESD器件进行断层扫描和3D重构，基于图像的观测，对失效ESD器件进行全面的无损表征，得到不同失效阶段的原因，从而优化器件设计，无损表征及失效分析具体包括下述步骤：a步骤：获取不同失效程度的ESD器件，所述不同失效程度的ESD器件为完全没有经历过静电测试的器件、静电测试中电学性质发生突变以及器件表面发生肉眼可见的硬击穿的器件；b步骤：将上述失效ESD器件根据不同失效程度和电学特性分为失效阶段和失效阶段两类，所述失效阶段为静电测试中电学性质发生突变的器件；所述失效阶段为静电测试中器件表面发生肉眼可见的硬击穿的器件；c步骤：将失效阶段的器件采用微光显微镜、激光显微镜、光束诱导电阻变化或热发射显微镜进行定位分析的失效表征；将失效阶段的器件采用X射线显微镜（XRM）进行断层扫描的失效表征，并3D重构和逐层分析；d步骤：根据分类失效分析的流程处理，得到器件的可靠性问题和设计的薄弱区域，从而达到优化器件的效果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华东师范大学 一种基于图像的失效ESD器件无损表征方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD