申请/专利权人：住友化学株式会社

申请日：2020-11-27

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112924457A

主分类号：G01N21/88(20060101)

分类号：G01N21/88(20060101);G01N21/84(20060101)

优先权：["20191205 JP 2019-220647"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.09.23#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：提供适当地管理第1构件层以及第2构件层的层叠体的端部区域所包括的第1构件层的端部与第2构件层的端部之间的距离的技术。一个实施方式涉及的测定方法，是测定包括第1构件层和第2构件层的层叠体的端部区域的方法，上述第1构件层具有第1端部，上述第2构件层具有从上述层叠体中的上述第1构件层以及上述第2构件层的层叠方向观察，与上述第1端部位于相同侧的第2端部，上述端部区域是从上述层叠体中的上述第1端部遍及至上述第2端部的区域，所述方法具备：在上述端部区域照射检查光的照射工序；检测作为由上述端部区域反射的上述检查光的反射光的检测工序；和基于上述反射光的检测结果，计算上述第1端部与上述第2端部之间的距离的计算工序。

主权项：1.一种测定方法，该方法测定包括第1构件层和第2构件层的层叠体的端部区域，所述第1构件层具有第1端部，所述第2构件层具有从所述层叠体中的所述第1构件层以及所述第2构件层的层叠方向观察，与所述第1端部位于相同侧的第2端部，所述端部区域是所述层叠体中的从所述第1端部遍及至所述第2端部的区域，所述方法具备：在所述端部区域照射检查光的照射工序；检测作为由所述端部区域反射的所述检查光的反射光的检测工序；和基于所述反射光的检测结果，计算所述第1端部与所述第2端部之间的距离的计算工序。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 住友化学株式会社 测定方法、管理方法以及光学部件的制造方法

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