申请/专利权人:梁小明
申请日:2021-01-22
公开(公告)日:2021-06-08
公开(公告)号:CN112928045A
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101);B08B15/04(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回
法律状态:2022.08.19#发明专利申请公布后的撤回;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开
摘要:本发明公开了一种晶圆贴膜治具,其结构包设有底板、基础板、固柱、贴附台、气缸动力机,基础板位于底板顶端,贴附台活动于基础板上方,气缸动力机连接在固柱的一侧,固柱嵌固安装在底板上,贴附台与气缸动力机相配合,由转卡环转动,会逐渐摩擦防尘装置并抵触产生卡位,使得侧摆架铰接着实底块向侧端摆向,扯接杆连着其内侧端并为其提供伸缩连接力,撑簧的撑力便于顶挡板可以灵活触压于口端道顶端两侧,起到防尘效果,侧摆架向两侧摆动时,带动气流变化,而有向两侧流通的气流力,利于尘质随气流向两侧活动,继而进入集口中。
主权项:1.一种晶圆贴膜治具,其结构包设有底板1、基础板2、固柱3、贴附台4、气缸动力机5,所述基础板2位于底板1顶端,所述贴附台4活动于基础板2上方,所述气缸动力机5连接在固柱3的一侧,所述固柱3嵌固安装在底板1上,所述贴附台4与气缸动力机5相配合,其特征在于:所述基础板2设有撑台21、定位卡块22、转底23、支撑脚24,所述转底23嵌入连接在撑台21中端,所述定位卡块22连接于转底23上方且相配合,所述支撑脚24嵌固连接在撑台21下方。
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