申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2021-01-22

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112925064A

主分类号：G02B6/32(20060101)

分类号：G02B6/32(20060101);G01B11/02(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2024.02.23#发明专利申请公布后的驳回;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：本发明提供了一种多光束合束调节装置，所述调节装置包括基准光源、第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、基准光源单模保偏光纤、第一单模保偏光纤、第二单模保偏光纤、第三单模保偏光纤、第四单模保偏光纤、基准光源单模保偏光纤准直器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第三光纤准直器、第四光纤准直器、第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、线性位移台、探测器以及计算机；本发明还提供了一种多光束合束调节方法。本发明可实现空间多束光姿态和位置的快速调整，光束重合度可达亚微米量级。

主权项：1.一种多光束合束调节装置，其特征在于，所述调节装置包括基准光源、第一光源、第二光源、第三光源、第四光源、基准光源单模保偏光纤、第一单模保偏光纤、第二单模保偏光纤、第三单模保偏光纤、第四单模保偏光纤、基准光源单模保偏光纤准直器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第三光纤准直器、第四光纤准直器、第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、线性位移台、探测器以及计算机；其中，基准光源、第一光源、第二光源、第三光源和第四光源分别发出波长为λ0、λ1、λ2、λ3和λ4的线偏振光，分别耦合入基准光源单模保偏光纤、第一单模保偏光纤、第二单模保偏光纤、第三单模保偏光纤和第四单模保偏光纤中传输，并经过基准光源单模保偏光纤准直器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第三光纤准直器和第四光纤准直器后输出五束波长为λ0、λ1、λ2、λ3和λ4的线偏振准直光束，经第一镜片、第二镜片、第三镜片和第四镜片传输后，入射到线性位移台上的探测器上，最后通过计算机采集探测器上的信号，并进行信号处理，得到光束在探测器上的质心。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 多光束合束调节装置及调节方法

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