申请/专利权人：复旦大学;珠海复旦创新研究院

申请日：2021-01-27

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112928212A

主分类号：H01L51/40(20060101)

分类号：H01L51/40(20060101);H01L51/05(20060101);H01L51/30(20060101);G01N27/00(20060101);C08G83/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.22#授权;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：本发明属于功能器件技术领域，具体为基于MOFs和有机半导体异质结的气体传感器件及其制备方法。本发明方法包括：采用带有SiO2层的硅片剪切成小面积于4cm2的正方形或者圆形，而后使用匀胶机，将导电MOFs和有机半导体材料的混合溶液均匀地滴在硅片上，高转速下将多余的溶液甩飞；将以上器件退火处理，即得到导电MOFs和有机半导体聚合物的异质结的器件；将其应用于有害气体氛围中，定性检测有害气体。本发明用制备的基于导电MOFs材料和有机半导体材料的异质结结构搭建的器件，运用于有害气体检测，检测灵敏度高，拓宽了其应用领域。

主权项：1.一种基于MOFs和有机半导体异质结的气体传感器件的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：（1）采用带有SiO2层的硅片剪切成小于4cm2的正方形或者圆形，分别用丙酮，异丙醇各超声，以除去表面残留的杂质；（2）将步骤（1）得到的硅片采用掩膜的方法在薄膜表面蒸镀上金电极；（3）分别配置六巯基苯和CuNO32﹒3H2O溶液，六巯基苯溶液的溶剂为二氯苯，CuNO32﹒3H2O的溶剂为水，分别超声至完全溶解，而后将这两种溶液混合，超声0.5-2小时，静止1小时；然后用乙醇和DMF过滤，之后冷冻干燥机干燥；（4）取4-10mg的有机半导体DPPTT，用氯仿或二氯苯等含氯溶剂在80-120℃下，搅拌1h，制备4mgml的溶液；（5）将步骤（3）中制得的混合溶液和步骤（4）的溶液混合,在50-90℃下搅拌1-3h；其中，前者溶液为后者溶液的1-20wt%；（6）将步骤（2）得到的硅片放置在匀胶机上，用移液枪将配置好混合溶液均匀地滴在硅片上，然后开启匀胶机，在高转速下将多余的盐溶液甩飞，然后在80℃-170℃下退火10-180min，即得到基于异质结材料的气体传感器件。

全文数据：

权利要求：

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