申请/专利权人：深圳市三束镀膜技术有限公司

申请日：2021-04-07

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112921279A

主分类号：C23C14/30(20060101)

分类号：C23C14/30(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：本发明公开了一种封闭式挡板结构，所述挡板结构包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构，所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构，所述挡板的侧壁上设有一开孔，所述开孔连接所述观察筒一端，所述观察筒固定于所述支撑架上，所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上，驱动所述支撑架升降和转动。本发明的挡板结构应用于电子枪镀膜装置上后，能够在膜料预熔时将蒸发源完全封闭，避免了坩埚周边的严重脏污和基片被污染的情况，且本挡板结构上还设有观察筒，可在挡板扣下时实时对膜料的熔料状况进行观察。本发明用于双电子枪的镀膜设备时，可防止两个坩埚的膜料相互污染。

主权项：1.一种封闭式挡板结构，其特征在于，包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构，所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构，所述挡板的侧壁上设有一开孔，所述开孔连接所述观察筒一端，所述观察筒固定于所述支撑架上，所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上，驱动所述支撑架升降和转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市三束镀膜技术有限公司 一种封闭式挡板结构

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