申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2021-04-16

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112917395A

主分类号：B24C3/06(20060101)

分类号：B24C3/06(20060101);B24C9/00(20060101);B24C11/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2024.02.27#发明专利申请公布后的驳回;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：本发明实施例提供了陶瓷件喷砂方法、陶瓷件及其制作方法，该陶瓷件喷砂方法包括循环执行以下步骤：S1、通过喷嘴向陶瓷件的待处理表面喷射喷砂材料，同时控制喷嘴与陶瓷件作相对运动，直至喷砂材料覆盖整个待处理表面；步骤S1的循环次数以及各次步骤S1的相关参数被设置为能够控制待处理表面的表面粗糙度的大小以及降低陶瓷件的表面损伤；相关参数包括喷砂材料种类、喷射压力、喷砂目数、喷砂角度、喷嘴与陶瓷件的相对运动速度、喷嘴直径以及喷嘴出口与待处理表面之间的间距中的至少一种。本发明实施例可以减少裂纹等损伤，控制陶瓷件表面粗糙度的大小，从而满足不同工艺对陶瓷件的表面粗糙度的要求。

主权项：1.一种陶瓷件喷砂方法，其特征在于，包括循环执行以下步骤：S1、通过喷嘴向所述陶瓷件的待处理表面喷射喷砂材料，同时控制所述喷嘴与所述陶瓷件作相对运动，直至所述喷砂材料覆盖整个所述待处理表面；其中，所述步骤S1的循环次数以及各次所述步骤S1的相关参数被设置为能够控制所述待处理表面的表面粗糙度的大小以及降低所述陶瓷件的表面损伤；所述相关参数包括喷砂材料种类、喷射压力、喷砂目数、喷砂角度、所述喷嘴与陶瓷件的相对运动速度、喷嘴直径以及喷嘴出口与所述待处理表面之间的间距中的至少一种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 陶瓷件喷砂方法、陶瓷件及其制作方法

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