申请/专利权人：AP系统股份有限公司

申请日：2017-04-26

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN107309542B

主分类号：B23K26/00(20140101)

分类号：B23K26/00(20140101);B23K26/06(20140101);B23K26/064(20140101);B23K26/70(20140101)

优先权：["20160426 KR 10-2016-0050870"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权;2019.05.10#实质审查的生效;2017.11.03#公开

摘要：本发明涉及一种激光处理设备。所述激光处理设备包括：激光产生单元，其经配置以产生照射到用于处理的目标的激光束的振荡信号，且使多个激光束振荡；激光处理单元，其安置于由所述激光产生单元振荡的所述激光束的传播路径上，且经配置以处理所述激光束；以及激光观测单元，其在所述传播路径上连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个以检测所述激光束的振荡且通过处理以及分析检测到的数据而确定所述激光产生单元的操作状态。本发明另提供一种使用所述激光处理设备的激光处理方法。本发明可以立即检测且校正激光振荡中的问题，且可以视需要改变用于多个激光的振荡方法，且因此可以增大激光处理工序的生产率。

主权项：1.一种激光处理设备，其特征在于，包括：激光产生单元，其经配置以产生照射到用于处理的目标的激光束的振荡信号，且使多个激光束振荡；激光处理单元，其安置于由所述激光产生单元振荡的所述激光束的传播路径上，且经配置以处理所述激光束；激光观测单元，其在所述传播路径上连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个以检测所述激光束的振荡且通过处理以及分析检测到的数据而确定所述激光产生单元的操作状态；以及调整单元，其经配置以根据上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置而针对所述用于处理的目标的每一处理区域将所述多个激光束的振荡模式调整为同时驱动或交替驱动。

全文数据：激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法技术领域[0001]本发明涉及一种激光处理设备（laserprocessingapparatus以及使用所述激光处理设备的激光处理方法laserprocessingmethod，尤其涉及一种使得能够容易地控制多个激光源的激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法。背景技术[0002]正积极地进行研宄以开发作为下一代显示器的柔性显示器flexibledisplay，其薄而轻，并且可弯曲或可折叠但耐冲击。实际上已开发出一些柔性显示器，但其需要进一步改善。[0003]硅晶体管将玻璃衬底或蓝宝石衬底用作基底材料衬底。归因于硅晶体管的低柔性以及基底材料衬底的限制而难以将硅晶体管应用于柔性显示器。因此，正进行研究以开发通过使用薄玻璃板作为衬底、使用金属板作为衬底或使用塑料衬底来制造柔性半导体装置的方法。[0004]作为实施柔性显示器的实例，TFT电路以及为发光装置的0LED形成于薄膜上的特定结构中。此处，因为薄膜不容易处置，因此TFT成型工艺是在薄膜附接到载体玻璃的情况下执行的。[0005]因此，在薄膜上形成TFT之后需要从载体玻璃分离薄膜的过程，且此过程是使用激光剥离（laser-lift-off，LL0方法执行。也就是说，可以通过将激光照射到载体玻璃与薄膜之间的粘合剂来将能量施加到所述粘合剂以降低粘合强度，且接着可以从载体玻璃分离并且移除薄膜。[0006]在激光剥离过程中，在工作台速度与激光的振荡频率同步时，在将工作台移动多达激光束宽度的同时照射激光束，其中工作台速度是由激光束宽度以及激光频率确定。[0007]根据当前的商品化激光剥离过程，在使用多个激光源时，诱发多个激光源以恒定频率同时振荡以便进行所述过程。[0008]然而，因为多个激光振荡器同时驱动，因此激光振荡器的维护周期以及消耗性组件的替换周期短。此外，因为不可能在需要维护单个激光振荡器时个别地驱动以及维护激光振荡器，因此降低激光剥离过程的效率以及生产率。发明内容[0009]本发明提供一种能够容易地检测多个激光源的振荡状态的激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法。[0010]本发明提供一种能够个别地使用多个激光源的激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法。[0011]本发明提供一种能够通过降低设备的维护次数而改善激光处理过程的效率和生产率的激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法。[0012]根据示范性实施例，一种激光处理设备包含:激光产生单元，其经配置以产生照射到用于处理的目标的激光束的振荡信号，且使多个激光束振荡;激光处理单元，其安置于由所述激光产生单元振荡的所述激光束的传播路径上，且经配置以处理所述激光束；以及激光观测单元，其在所述传播路径上连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个以检测所述激光束的振荡且通过处理以及分析检测到的数据而确定所述激光产生单元的操作状态。[0013]所述激光观测单元可以包含:检测部件，其连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个，且经配置以测量所述激光束的振荡频率以及脉冲数据;转换部件，其经配置以将从所述检测部件接收的所述激光束的模拟数据转换成数字数据；以及确定部件，其经配置以通过分析由所述转换部件转换的数字信号而确定所述振荡信号是否异常。[0014]所述激光观测单元可以包含控制部件，所述控制部件经配置以根据确定所述振荡信号是否异常的结果而控制所述振荡信号，所述结果已从所述确定部件接收。[0015]所述检测部件可以设置于以下位置中的至少一个:在所述激光束的传播方向上位于所述激光产生单元前部的位置、用于将所述激光束朝向所述用于处理的目标反射的位置，和用于控制所述激光束的长度的位置。[0016]所述激光产生单元可以包含:激光控制部件，其经配置以产生所述多个激光束中的每一个的所述振荡信号；以及激光产生部件，其连接到所述激光控制部件以根据所产生的振荡信号而使每一激光束振荡。[0017]所述激光处理设备可以进一步包含调整单元，所述调整单元经配置以根据上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置而针对所述用于处理的目标的每一处理区域调整所述激光束的振荡模式以及所述工作台的操作状态。[0018]所述调整单元可以包含:位置检测部件，其经配置以测量所述工作台的所述位置；调整部件，其连接到所述位置检测部件以及所述激光产生单元以根据所述工作台的测量位置而调整所述激光束的所述振荡模式以及所述工作台的移动速度；以及运动控制部件，其连接到所述调整部件以根据所述激光束的经调整振荡模式而控制所述工作台的所述移动速度。[0019]根据另一示例性实施例，一种激光处理方法包含:根据用于处理的目标的处理条件而设定用于控制多个激光束的振荡的多个振荡条件;通过将所述所设定振荡条件传递到用于使所述多个激光束振荡的激光产生部件而使所述多个激光束振荡;检测振荡的所述多个激光束；以及通过使用检测到的激光束数据而确定所述激光产生部件的激光束振荡状〇[0020]所述设定所述多个振荡条件可以包含设定振荡模式，以使得所述多个激光束被同时驱动或交替地驱动。[0021]所述确定所述激光束振荡状态可以包含:比较所述检测到的激光束数据与所述所设定振荡条件的数据；以及在所述检测到的激光束数据的值不同于所述所设定振荡条件的所述数据时，确定所述激光产生部件需要校正。[0022]在所述检测所述多个激光束期间，可以获得所述多个激光束的振荡频率以及脉冲数据。[0023]所述激光处理方法可以包含:停止在所述多个激光束之间需要校正的激光束的振荡；以及在校正所述振荡停止激光束期间减小所述用于处理的目标的处理速度，在确定所述激光产生部件需要校正之后，此时所述振荡模式为交替驱动。[0024]所述激光处理方法可以包含:停止在所述多个激光束之间需要校正的激光束的振荡；以及在校正所述振荡停止激光束期间增大除所述振荡停止激光束以外的所述激光束的能量，在确定所述激光产生部件需要校正之后，此时所述振荡模式为同时驱动。[0025]所述激光处理方法可以包含：检测上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置;以及在所述工作台的所述检测到的位置为所述用于处理的目标的第一区域开始的位置时，减小所述工作台的移动速度，同时使所述多个激光束同时地驱动，此时，在所述设定所述多个振荡条件期间，所述用于处理的目标划分成包含在所述多个激光束的振荡方向上的边缘的所述第一区域以及不包含所述边缘的第二区域，且所述第一区域需要以高于所述第二区域的激光束能量的激光束能量进行处理。[0026]所述激光处理方法可以包含：检测上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置;以及在所述工作台的所述检测到的位置为所述用于处理的目标的第二区域开始的位置时，增大所述工作台的移动速度，同时交替地驱动所述多个激光束，此时，在所述设定所述多个振荡条件期间，所述用于处理的目标划分成包含在所述多个激光束的振荡方向上的边缘的第一区域以及不包含所述边缘的所述第二区域，且所述第一区域需要以高于所述第二区域的激光束能量的激光束能量进行处理。[0027]根据又一示范性实施例，一种激光处理方法包含：检测上面放置用于处理的目标的工作台的位置；以及根据所述工作台的所述检测到的位置而控制多个激光束的振荡条件以及所述用于处理的目标的处理速度。[0028]所述控制所述多个激光束的所述振荡条件以及所述用于处理的目标的所述处理速度可以包含在所述工作台的所述检测到的位置对应于所述用于处理的目标的边缘时，同时驱动所述多个激光束且减小所述用于处理的目标的所述处理速度。[0029]所述控制所述多个激光束的所述振荡条件以及所述用于处理的目标的所述处理速度可以包含在所述工作台的所述检测到的位置偏离所述用于处理的目标的边缘时，交替地驱动所述多个激光束且增大所述用于处理的目标的所述处理速度。附图说明[0030]可以从结合附图所作的以下描述中更详细地理解示例性实施例，其中：[0031]图1为说明根据一实施例的激光处理设备的图；[0032]图2为说明图1的激光产生单元以及激光观测单元的详细配置的图；[0033]图3a及图3b为说明根据一实施例的激光的振荡模式的图；[0034]图4为说明根据一实施例的包含调整单元的激光处理设备的图；[0035]图5为说明根据一实施例的激光处理方法的流程图；[0036]图6为说明根据一实施例的基于是否校正激光产生部件的激光处理方法的流程图；[0037]图7为说明根据一实施例的基于用于处理的目标的处理条件的激光处理方法的流程图；[0038]图8为说明图7的实例的图。[0039]附图标号说明[0040]1:激光处理设备；[0041]50:工作台；[0042]100:激光产生单元；[0043]110:激光控制部件；[0044]130、130a、130b:激光产生部件；[0045]150、150a、150b:光阀部件；[0046]300:激光处理单元；[0047]310:反射镜；[0048]350:射束切割器；[0049]400:激光观测单元；[0050]410:检测部件；[0051]412:第一检测器；[0052]414:第二检测器；[0053]416:第三检测器；[0054]430:转换部件；[0055]450:确定部件；[0056]470:控制部件；[0057]500:调整单元；[0058]510:位置检测部件；[0059]530:调整部件；[0060]550:运动控制部件；[0061]A、B、C:区段；[0062]L、Li、L2:激光束；[0063]S:用于处理的目标；[0064]S100〜S300、S410〜S470:步骤。具体实施方式[0065]下文中将参考附图详细描述示范性实施例。然而，本发明可以用不同形式体现，且不应被解释为限于本文中所陈述的实施例。而是，提供这些实施例是为了使得本发明将是透彻并且完整的，且这些实施例将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。在附图中，可能会为了说明的清楚起见而夸示元件的尺寸，且相同参考数字始终指相同元件。[0066]根据一实施例的激光处理设备旨在容易地检测且控制照射到被处理的对象的激光的振荡状态，其可以确定用于使多个激光振荡的振荡条件是否与实际振荡的激光相同。此外，可以根据激光的振荡状态以及被处理的对象的处理区域而容易地可互换地使用多个激光的振荡模式。此处，在一实施例中，激光处理设备可以表示用于通过使用激光剥离LL0方法从衬底分离沉积于衬底上的薄膜的设备。此外，被处理的对象可以是柔性有机发光二极管flexibleorganiclight-emittingdiode，0LED薄膜沉积于玻璃衬底上的结构。[0067]然而，所述激光处理设备不限于所述实施例，且因此可以应用于需要用于将激光照射到被处理的对象的各种设备（例如激光热处理设备、激光处理设备等等）的各种领域中，以确定经设定以使激光振荡的振荡条件数据是否与实际振荡激光的检测到的数据相同并控制激光振荡。[0068]在下文中，振荡激光称为激光束，且术语“振荡激光”与术语“激光束”可以互换地使用，具有相同意义。[0069]将参考图1到图4描述根据一实施例的激光处理设备。图1为说明根据一实施例的激光处理设备的图。图2为说明图1的激光产生单元以及激光观测单元的详细配置的图。图3a及图3b为说明根据一实施例的激光的振荡模式的图。图4为说明根据一实施例的包含调整单元的激光处理设备的图。[0070]根据一实施例的激光处理设备1用以将激光束L照射到用于处理的目标S且检测并控制激光束L的振荡状态。激光处理设备1包含:激光产生单元100,其产生照射到用于处理的目标S的激光束L的振荡信号，且根据所述振荡信号使多个激光束振荡；激光处理单元300，其安置于激光束L的传播路径上，且处理激光束L;以及激光观测单元400，其在激光束L的传播路径上连接到激光产生单元1〇〇和激光处理单元300中的至少一个以确定激光束L是否振荡，且通过处理以及分析检测到的数据而确定激光产生单元1〇〇的操作状态。[0071]激光产生单元100为用于产生激光束L的元件，其包含:激光控制部件110,其产生多个激光束L的相应振荡信号；以及激光产生部件130,其连接到激光控制部件110以根据所产生的振荡信号而使每一激光束L振荡。此外，激光产生单元100可以包含安置在激光产生部件130的前部的光阀部件150，光阀部件150的数目对应于激光产生部件130的数目。[0072]此处，根据要振荡的激光的数目，激光产生单元100可以包含多个激光产生部件130以及分别布置在激光产生部件130的前部的多个光阀部件150。也就是说，因为在一实施例中使用两个激光，因此激光产生部件130可以包含第一激光产生部件130以及第二激光产生部件130。此外，光阀部件150可以包含分别布置在第一激光产生部件130以及第二激光产生部件130的前部的第一光阀部件150以及第二光阀部件150。尽管激光产生部件130与光阀部件150在下文描述为单个部件，但以下描述也适用于多个激光产生部件130以及多个光阀部件150。[0073]激光产生部件130为用于使激光振荡的装置，其可以称为振荡器。各种己知激光产生器例如KrF准分子激光产生器、ArF准分子激光产生器，等）可以根据要使用的激光束的波长而采用为激光产生部件130。此处，可以根据衬底与包含于用于处理的目标S中的薄膜之间的结合能量而确定激光束L的光源的类型。[0074]光阀部件150安置在激光产生部件130的前部以阻断激光束L的路径。也就是说，光阀部件150可以与激光产生部件130的激光束L的传播方向平行地安置以打开激光束L的路径，或可以安置在与激光束L的传播方向相交的方向上以阻断激光束L的路径。[0075]激光处理单元300在激光产生单元100的前部安置于激光束L的传播路径上，以将激光束L处理成直线形状直线束且处理此直线的能量分布。激光处理单元300包含用于处理激光束L的形状的透镜系统（未示出）、用于通过反射激光束L而改变激光束L的传播路径的反射镜310,以及用于控制激光束L的长度的射束切割器beamcutter350。为了确定并控制激光束L的振荡状态，激光观测单元400包含:检测部件410，其连接到激光产生单元100和激光处理单元300中的至少一个以测量激光束L的振荡频率以及脉冲数据;转换部件430，其连接到检测部件410以将从检测部件410接收的激光束L的数据转换从数字数据；以及确定部件450，且通过分析经转换数字信号而确定激光束L的振荡信号是否异常。此外，激光观测单元400包含控制部件470,其根据确定所述振荡信号是否异常的结果而控制激光束L的振荡信号，所述结果己从确定部件450接收。[0076]也就是说，激光观测单元400包含用于测量因激光产生单元100而振荡的激光束L的传播路径上的激光束L的振荡频率以及脉冲数据、比较所测量振荡频率以及脉冲数据与从激光控制部件110传递到激光产生部件130的振荡信号数据以确定激光束L的振荡信号是否异常，以及根据所述确定的结果而控制激光控制部件110的操作的配置。[0077]检测部件410安置于激光束L的传播路径上以感测激光束L，其可以连接到激光产生单元100和激光观测单元400中的至少一个。也就是说，检测部件410可以设置于以下位置中的至少一个:在激光产生单元100的前部的位置、用于将激光束L反射到用于处理的目标S的位置，以及用于控制激光束L在激光束L的传播路径上的长度的位置。[0078]此处，检测部件410可以包含:第一检测器412,其安置于激光产生单元100的前部；第二检测器414,其安置于己透射穿过反射镜310以改变朝向用于处理的目标S的激光束L的传播路径的激光束L到达的位置处；以及第三检测器416,其安置于通过射束切割器350分隔开以控制激光束L的长度的残余激光束L到达的位置处。[0079]将第一检测器412、第二检测器414以及第三检测器416安置在上述位置的原因描述如下。在安置第一检测器412的位置处，激光束L最初被振荡以照射到用于处理的目标S，且因此第一检测器412可以容易地检测激光束L。此外，在安置第二检测器414的位置处，第二检测器414可以容易地检测激光束L，即使第二检测器414不安置于激光束L的传播路径上也是如此，归因于反射镜310的材料特性因此反射镜310部分地透射激光束L而非将全部激光束L朝向用于处理的目标S反射。最后，在安置第三检测器416的位置处，第三检测器416可以容易地检测激光束L，即使第三检测器416不安置于激光束L的传播路径上也是如此，因为射束切割器350用以调整激光束L的长度，且可以容易地在所述位置处检测到长度调整之后分离的残余激光束L。也就是说，实施例的检测部件410安置在可以检测激光束L而不阻断激光束L朝向用于处理的目标S传播的位置处。[0080]能够感测光例如激光束L的元件例如，光电二极管可以用作检测部件410。也就是说，用于通过将光自身或包含于光中的信息转换成电信号而检测光的装置被用于检测单元410中，且因此检测单元410可以实时地inrealtime获得激光束L的振荡频率以及脉冲数据。[0081]转换部件430将由检测部件410检测到的激光束L的模拟数据转换成数字格式。也就是说，数字转换器digitizer用以将由用于检测激光的光学信号检测器测量的信号转换成数字信号，以使得经转换信号可以输入到下文描述的控制部件。[0082]确定单元450显示从转换部件430传递的激光束L的数字数据，且分析从转换部件430传递的激光束L的数字数据以确定激光束L的振荡信号是否异常。也就是说，确定单元450比较由检测部件410检测到的激光束L的数据下文称为检测到的数据与从激光控制部件110传递到激光产生部件130的振荡信号的数据以使激光产生单元100中的激光束L振荡下文称为设定数据）。在检测到的数据与设定数据具有相同值时，确定部件450确定激光束L的振荡的异常尚未发生。然而，在检测到的数据与设定数据具有不同值时，确定部件450确定已发生激光束L的振荡的异常。如上文所描述，检测到的数据与设定数据可以是激光束L的频率数据与脉冲数据。[0083]用以根据确定部件450的确定结果控制激光产生单元1〇〇的控制部件470根据确定激光束L的振荡的异常是否已发生的结果而控制激光产生部件130的振荡操作，所述结果已从确定部件450接收。也就是说，在从确定部件450接收到的确定结果指示设定数据不同于测量数据时，控制部件470将校正信号传递到激光控制部件11〇,以使得设定数据与测量数据可以彼此相等。_[0084]激光处理设备1可以进一步包含调整单元500,所述调整单元根据上面放置用于处理的目标S的工作台50的位置而针对用于处理的目标S的每一处理区域调整激光束L的振荡模式以及工作台50的移动速度。[0085]调整单元500为用于根据激光束L照射到的用于处理的目标S的位置而容易地改变激光束L的处理条件的元件，且包含:位置检测部件510，其测量工作台50的位置;调整部件530,其连接到位置检测部件510以及激光产生单元100以根据工作台50的所测量位置而调整激光束L的振荡模式以及工作台50的操作状态；以及运动控制部件550,其连接到调整部件530以根据激光束L的经调整振荡模式而控制工作台50的速度。[0086]位置检测部件510为用于测量工作台50的位置（因为工作台50移动）的元件，其例如可以使用位置编码器。也就是说，位置检测部件510实时地检测工作台50的位置，且将工作台50的位置数据传递到调整部件530。更详细地，尽管位置检测部件510收集工作台50的位置数据，但位置检测部件510可以用来检测放置在工作台50上的用于处理的目标S的位置。举例来说，假定工作台50横向划分成第一部分到第十部分，且用于处理的目标S放置在工作台50上并覆盖第三部分到第七部分。因此,位置检测部件510可以认识到用于处理的目标S不存在于第一部分和第二部分上，但存在于第三部分以及后续部分上。也就是说，为了根据工作台50的位置而检测用于处理的目标S的位置，预先设定工作台50与用于处理的目标S之间的位置关系，以使得可以根据所述位置关系而检测用于处理的目标S的位置。[0087]调整部件530用以根据从位置检测部件510接收的工作台50的位置而改变激光束L的振荡模式或控制工作台50的移动，其将用于改变激光束L的振荡模式的控制信号与用于改变工作台50的移动速度的控制信号分别传递到激光控制部件11〇与运动控制部件550。[0088]运动控制部件550从调整部件530接收用于改变工作台50的移动速度的控制信号，且根据接收到的信号而提供用于移动工作台50的功率。[0089]如上文所描述而配置的激光处理设备1实时地比较具有用于使激光束L振荡的振荡信号的设定数据与在根据所设定的振荡信号使激光束L振荡在通过使用多个激光束L处理用于处理的目标S期间）之后测量的激光束L的测量数据。因此，可以容易地确定激光束l的振荡状态的异常是否己发生。[0090]此外，可以基于工作台50的位置而容易地检测用于处理的目标S的位置，且可以针对用于处理的目标S的每一检测到的位置而调整激光束L的振荡模式以及工作台5〇的移动速度。因此，不同工艺条件可以容易地应用在用于处理的目标s的每一位置，且因此可以增大处理效率以及生产率。[0091]将参考图5到8描述根据一实施例的激光处理方法。图5为说明根据一实施例的激光处理方法的流程图。图6为说明根据一实施例的基于是否校正激光产生部件的激光处理方法的流程图。图7为说明根据一实施例的基于用于处理的目标的处理条件的激光处理方法的流程图。图8为说明图7的实例的图。[0092]根据一实施例的激光处理方法包含:根据用于处理的目标S的处理条件而设定用于控制多个激光束的振荡的多个振荡条件;通过将所述所设定振荡条件传递到用于使所述多个激光束L振荡的激光产生部件130而使所述多个激光束振荡;检测振荡的所述多个激光束L;以及通过使用检测到的激光束数据而确定所述激光产生部件130的激光束振荡状态。[0093]首先，检查将以激光束L处理的用于处理的目标S的处理条件，且根据用于处理的目标S的处理条件而设定激光束L的振荡条件S110。用于处理的目标S的处理条件可以包含材料以及与要分离的薄膜的结合能量。此外，用于处理的目标S的处理条件可以包含在通过使用激光束L处理时可能受激光束L的能量影响的任何条件。另外，多个激光束L的振荡条件可以设定为同时驱动或交替驱动，以使得多个激光束L同时振荡或交替地振荡。此处，在需要高能激光束照射到用于处理的目标S时，可以设定多个激光束L的同时驱动，且在需要比同时驱动低的能量的激光束照射到用于处理的目标S时，可以设定交替驱动。[0094]在根据用于处理的目标S的处理条件而设定激光束振荡条件时，激光束L根据所设定的激光束振荡条件下文称为所设定振荡条件而振荡（S120。也就是说，在所设定振荡条件指示多个激光束激光束L1与激光束L2的同时驱动振荡模式如图3a中所示时，激光控制部件110将振荡信号传递到每一激光产生部件130,以使得激光产生部件130使激光束L1与激光束L2同时振荡。或者，在所设定振荡条件指示多个激光束激光束L1与激光束L2的交替驱动振荡模式如图3b中所示时，激光控制部件110将振荡信号传递到每一激光产生部件130,以使得激光产生部件130使激光束L1与激光束L2在不同时间振荡。[0095]此处，在用于处理的目标S划分成包含在激光束L的振荡方向上的边缘的第一区域以及不包含所述边缘的第二区域且需要以比第二区域的激光束能量高的激光束能量处理第一区域的情况下，设定多个激光束激光束L1以及激光束L2的振荡条件可以包含检测上面放置用于处理的目标S的工作台5〇的位置以及在工作台50的检测到的位置为第一区域的开始位置时减小工作台5〇的移动速度，同时使多个激光束激光束L1与激光束L2同时地驱动。[0096]此外，在工作台5〇的检测到的位置为第二区域的开始位置时，可以增大工作台50的移动速度，同时交替地驱动多个激光束激光束L1与激光束L2，以进行激光束L的照射。[0097]在激光束L响应于激光控制部件110的振荡信号而振荡时，检测振荡的激光束lS130。此处，可以通过使用提供到检测部件410的检测器来测量激光束L的振荡频率以及脉冲数据而检测激光束L。[0098]如上文所描述，可以通过检测激光束L而确定激光束L的振荡状态。通过检测激光束L而确定激光束L的振荡状态包含比较检测到的激光束数据与所设定振荡条件的数据S140，以及在检测到的激光束数据的值不同于所设定振荡条件的数据时，确定需要校正激光产生部件130。[0099]也就是说，确定检测到的激光束数据是否匹配所设定振荡条件的数据S150，且在检测到的激光束数据等于所设定振荡条件的数据时，确定激光束L的振荡状态令人?茜意；S160。然而，在检测到的激光束数据不等于所设定振荡条件的数据时，确定需要校正激光束L的振荡状态S200。[0100]如上文所描述,根据用于处理的目标s的处理条件设定激光振荡条件S110、根据所设定振荡条件使激光束L振荡S120、检测振荡的激光束LS130以及比较检测到的激光束数据与所设定振荡条件的数据S140，S150包含于观测激光振荡状态S100中。[0101]在观测到激光振荡状态S100之后，在确定需要校正用于产生激光束L的激光产生部件130S200时，控制部件470检查激光束L的振荡模式S210，且应用根据振荡模式调整用于处理的目标S的处理速度或激光束L的能量的方法。[0102]在确定需要校正激光产生部件130S200且激光束L的振荡模式为同时驱动的情况下，在所述确定之后执行停止在多个激光束激光束L1与激光束L2之间需要校正的激光束L的振荡S220B，且在校正振荡停止激光束L期间增大除振荡停止激光束L以外的激光束的能量S230B。[0103]也就是说，停止在多个激光束激光束L1与激光束L2之间需要校正的激光束L的振荡S22〇B，且控制部件47〇将控制信号传递到激光控制部件11〇,以使得不需要校正的激光束L以较高能量振荡，以便补偿应由需要校正的激光束L递送到用于处理的目标S的激光束能量。[0104]相反，在确定激光产生部件130需要校正S200且激光束L的振荡模式为交替驱动的情况下，在所述确定之后执行停止在多个激光束激光束L1与激光束L2之间需要校正的激光束L的振荡S220A，且在校正振荡停止激光束L期间减小用于处理的目标S的处理速度S230A。此处，用于处理的目标S的处理速度可以设定为通过以下方程式1计算的值。[0105][方程式1][0106]V=V〇n-xn[0107]其中V表示用于处理的目标的所计算的处理速度，VQ表示用于处理的目标的当前处理速度，n表示所使用的激光产生部件的数目，x表示需要校正的激光产生部件的数目）[0108]在完成激光产生部件130的校正，且因此需要校正的激光产生部件被归一化S240时，启动经校正激光产生部件13〇的操作，以启动需要校正的激光束L的振荡S250。此外，在校正期间调整的激光束能量或用于处理的目标S的处理速度可以在校正之前恢复为先前值S26〇A，S260B，以完成激光束L的照射S300。[0109]同时，根据另一实施例的激光处理方法为用于根据衬底的位置应用不同处理条件的方法，其包含:检测上面放置用于处理的目标S的工作台50的位置；以及根据工作台50的检测到的位置而控制多个激光束激光束L1和激光束L2的振荡条件以及用于处理的目标S的处理速度。[0110]在控制多个激光束激光束L1和激光束L2的振荡条件以及用于处理的目标S的处理速度期间，在工作台50的检测到的位置对应于用于处理的目标S的边缘时，多个激光束激光束L1与激光束L2可以同时驱动，且可以减小用于处理的目标S的处理速度。[0111]然而，在控制多个激光束激光束L1和激光束L2的振荡条件以及用于处理的目标S的处理速度期间，在工作台50的检测到的位置偏离用于处理的目标8的边缘时，多个激光束激光束L1与激光束L2可以交替地驱动，且可以增大用于处理的目标S的处理速度。[0112]也就是说，在启动激光束L的照射（S410时，工作台50开始以第一速度移动S420。此处，参考图8,工作台5〇的位置可以划分成三个区段，也就是说，区段A、区段B以及区段C，其中在区段A中，用于处理的目标S不存在于工作台50上。区段B表示用于处理的目标S存在于工作台50上的区段，且包含用于处理的目标S在工作台50的移动方向上的边缘。区段C表示用于处理的目标S的不包含边缘的区域存在于工作台50上的区段。此处，区段B包含玻璃与用于处理的目标S的薄膜之间的结合强度高于其它区域的结合强度的接合区域。[0113]在位置检测部件510通过检测工作台50的位置而认识到工作台50进入用于处理的目标S的接合区域S430时，调整部件530将用于将多个激光束激光束L1与激光束L2的振荡模式改变为同时驱动振荡模式的信号传递到激光控制部件110,以将能量比当前激光束L的能量高的激光束L照射到接合区域，并且还将用于缓慢移动工作台50的信号传递到运动控制部件550,以使得激光束L充分地照射到接合区域。因此，激光控制部件110可以通过控制多个激光束激光束L1与激光束L2以使得多个激光束激光束L1与激光束L2以相同振荡频率和相同脉冲同时振荡而增大照射到用于处理的目标S的激光束L的能量。此外，运动控制部件550可以通过减缓工作台50的移动而允许激光束L充分地照射到用于处理的目标SS440〇[0114]同时，在位置检测部件510通过检测工作台50的位置而认识到工作台50退出用于处理的目标S的接合区域S450时，调整部件530将用于将多个激光束激光束L1与激光束L2的振荡模式改变为交替驱动振荡模式的信号传递到激光控制部件110,以将能量比当前激光束L的能量低的激光束L照射到接合区域，且增大工作台5〇的移动速度S460，以完成激光束L的照射S470。[0115]也就是说，可互换地使用激光束L的振荡模式以通过增大对于用于处理的目标S的边缘部分的激光束L的照射密度而容易地移除接合且快速进行对于除边缘部分以外的部分的处理。[0116]根据实施例，可以在用于处理的目标的激光处理过程期间容易地检测且控制多个激光源的振荡状态。也就是说，可以通过比较振荡激光的检测到的数据与根据用于处理的目标的处理条件而设定的激光振荡条件数据来确定激光振荡状态是否异常。此外，可以容易地控制多个激光中的每一个的振荡，且因此可以根据用于处理的目标的处理区域以及激光产生部件是否异常而容易地可互换地使用使多个激光同时振荡的方法与使多个激光交替地振荡的方法。[0117]因此，可以立即检测到且校正激光振荡中的问题，且可以视需要改变用于多个激光的振荡方法，且因此可以增大激光处理过程的生产率。[0118]另外，激光产生部件的使用时间可能会减小，因为视需要选择性地使用多个激光，且因此可以防止增大激光产生部件的维护次数。[0119]虽然己参考特定实施例描述激光处理设备以及使用所述激光处理设备的激光处理方法，但它们并不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易地理解，可对其进行各种修改和改变而不脱离由所附权利要求书限定的本发明的精神和范围。

权利要求：1.一种激光处理设备，其特征在于，包括：激光产生单元，其经配置以产生照射到用于处理的目标的激光束的振荡信号，且使多个激光束振荡；激光处理单元，其安置于由所述激光产生单元振荡的所述激光束的传播路径上，且经配置以处理所述激光束；以及激光观测单元，其在所述传播路径上连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个以检测所述激光束的振荡且通过处理以及分析检测到的数据而确定所述激光产生单元的操作状态。2.根据权利要求1所述的激光处理设备，其特征在于，所述激光观测单元包括：检测部件，其连接到所述激光产生单元和所述激光处理单元中的至少一个，且经配置以测量所述激光束的振荡频率以及脉冲数据；转换部件，其经配置以将从所述检测部件接收的所述激光束的模拟数据转换成数字数据；以及确定部件，其经配置以通过分析由所述转换部件转换的数字信号而确定所述振荡信号是否异常。3.根据权利要求2所述的激光处理设备，其特征在于，所述激光观测单元包括控制部件，所述控制部件经配置以根据确定所述振荡信号是否异常的结果而控制所述振荡信号，所述结果已从所述确定部件接收。4.根据权利要求2所述的激光处理设备，其特征在于，所述检测部件设置于以下位置中的至少一个:在所述激光束的传播方向上位于所述激光产生单元前部的位置、用于将所述激光束朝向所述用于处理的目标反射的位置，和用于控制所述激光束的长度的位置。5.根据权利要求1所述的激光处理设备，其特征在于，所述激光产生单元包括：激光控制部件，其经配置以产生所述多个激光束中的每一个的所述振荡信号；以及激光产生部件，其连接到所述激光控制部件以根据所产生的振荡信号而使每一激光束振荡。6.根据权利要求1所述的激光处理设备，其特征在于，其还包括调整单元，所述调整单元经配置以根据上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置而针对所述用于处理的目标的每一处理区域调整所述激光束的振荡模式以及所述工作台的操作状态。7.根据权利要求6所述的激光处理设备，其特征在于，所述调整单元包括：位置检测部件，其经配置以测量所述工作台的所述位置；调整部件，其连接到所述位置检测部件以及所述激光产生单元以根据所述工作台的测量位置而调整所述激光束的所述振荡模式以及所述工作台的移动速度;以及运动控制部件，其连接到所述调整部件以根据所述激光束的经调整振荡模式而控制所述工作台的所述移动速度。8.—种激光处理方法，其特征在于，包括：根据用于处理的目标的处理条件而设定用于控制多个激光束的振荡的多个振荡条件；通过将所述所设定振荡条件传递到用于使所述多个激光束振荡的激光产生部件而使所述多个激光束振荡；检测振荡的所述多个激光束；以及通过使用检测到的激光束数据而确定所述激光产生部件的激光束振荡状态。9.根据权利要求8所述的激光处理方法，其特征在于，所述设定所述多个振荡条件包括设定振荡模式，以使得所述多个激光束被同时驱动或交替地驱动。10.根据权利要求9所述的激光处理方法，其特征在于，所述确定所述激光束振荡状态包括：比较所述检测到的激光束数据与所述所设定振荡条件的数据;以及在所述检测到的激光束数据的值不同于所述所设定振荡条件的所述数据时，确定所述激光产生部件需要校正。11.根据权利要求1〇所述的激光束处理方法，其特征在于，在所述检测所述多个激光束期间，获得所述多个激光束的振荡频率以及脉冲数据。12.根据权利要求10所述的激光处理方法，其特征在于，包括：停止在所述多个激光束之间需要校正的激光束的振荡；以及在校正所述振荡停止激光束期间减小所述用于处理的目标的处理速度，在确定所述激光产生部件需要校正之后，此时所述振荡模式为交替驱动。13.根据权利要求10所述的激光处理方法，其特征在于，包括：停止在所述多个激光束之间需要校正的激光束的振荡；以及在校正所述振荡停止激光束期间增大除所述振荡停止激光束以外的所述激光束的能量，在确定所述激光产生部件需要校正之后，此时所述振荡模式为同时驱动。14.根据权利要求8所述的激光处理方法，其特征在于，包括：检测上面放置所述用于处理的目标的工作台的位置;以及在所述工作台的所述检测到的位置为所述用于处理的目标的第一区域开始的位置时，减小所述工作台的移动速度，同时使所述多个激光束同时地驱动，此时，在所述设定所述多个振荡条件期间，所述用于处理的目标划分成包含在所述多个激光束的振荡方向上的边缘的所述第一区域以及不包含所述边缘的第二区域，且所述第一区域需要以高于所述第二区域的激光束能量的激光束能量进行处理。15.根据权利要求8所述的激光处理方法，其特征在于，包括：检测上面放置用于处理的目标的工作台的位置；以及在所述工作台的所述检测到的位置为所述用于处理的目标的第二区域开始的位置时，增大所述工作台的移动速度，同时交替地驱动所述多个激光束，此时，在所述设定所述多个振荡条件期间，所述用于处理的目标划分成包含在所述多个激光束的振荡方向上的边缘的第一区域以及不包含所述边缘的所述第二区域，且所述第一区域需要以高于所述第二区域的激光束能量的激光束能量进行处理。16.—种激光处理方法，其特征在于，包括：检测上面放置用于处理的目标的工作台的位置；以及根据所述工作台的所述检测到的位置而控制多个激光束的振荡条件以及所述用于处理的目标的处理速度。17.根据权利要求16所述的激光处理方法，其特征在于，所述控制所述多个激光束的所述振荡条件以及所述用于处理的目标的所述处理速度包括在所述工作台的所述检测到的位置对应于所述用于处理的目标的边缘时，同时驱动所述多个激光束且减小所述用于处理的目标的所述处理速度。18.根据权利要求16所述的激光处理方法，其特征在于，所述控制所述多个激光束的所述振荡条件以及所述用于处理的目标的所述处理速度包括在所述工作台的所述检测到的位置偏离所述用于处理的目标的边缘时，交替地驱动所述多个激光束且增大所述用于处理的目标的所述处理速度。

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