申请/专利权人:广州三孚新材料科技股份有限公司
申请日:2020-02-19
公开(公告)日:2021-06-08
公开(公告)号:CN111155153B
主分类号:C25D3/38(20060101)
分类号:C25D3/38(20060101);C25D5/34(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.06.08#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开
摘要:本发明属于电镀技术领域,具体涉及一种电镀铜镀液及电镀铜方法。本申请提供的电镀铜镀液由五水硫酸铜、硫酸、氯离子、光亮剂、平整剂、月桂酰精氨酸乙酯盐酸盐、去离子水等组分组成。本申请提供的电镀铜方法包括表面处理、电镀铜镀液配置、电镀、干燥四部分。本发明提供的电镀铜镀液能够在高密度电流下电镀铜,所获得镀铜工件的镀铜层光亮光滑,附着力好,能够缩短同等条件下低电流密度的电镀时间,提高工作效率,节约成本。本发明提供的电镀铜镀液配方组分简单,电镀铜方法易进行,有利于实现工业化。
主权项:1.一种电镀铜镀液,其特征在于,包括如下浓度的组分:五水硫酸铜210gL、硫酸64gL、氯离子59mgL、光亮剂3.5mgL、平整剂13.6mgL、月桂酰精氨酸乙酯盐酸盐1.2gL、余量为去离子水;所述平整剂由丁炔二醇、健那绿、甲基绿、吡罗红按质量比为3:2:5:1组成;所述光亮剂由苯二磺酸钠、聚二硫二丙烷磺酸钠、苯基二硫代丙烷磺酸钠按质量比为2:1:3组成。
全文数据:
权利要求:
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