申请/专利权人：深圳市先进连接科技有限公司

申请日：2020-11-16

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213401110U

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型公开一种气氛保护装置，其中，所述气氛保护装置包括壳体，所述壳体内部限定出与至少一个电子器件适配的密闭容腔，所述壳体上设有连通所述密闭容腔的真空孔和气孔，所述壳体具有传导部，所述传导部的材质为耐高温材质，且所述传导部的一端与所述密闭容腔连通，另一端与外界连通。本实用新型提供的技术方案，使得电子器件在烧结时能够处于保护气氛中，防止氧化；使用本气氛保护装置进行烧结时，电子器件位于密闭容腔内，烧结工艺涉及的其他机构处于大气环境中，避免了额外采用特殊材料制造用于容置其他机构的密闭空间，降低了制造成本，也减少了保护气体的消耗量，提高了生产效率。

主权项：1.一种气氛保护装置，用于为电子器件烧结提供气氛保护，其特征在于，所述气氛保护装置包括壳体，所述壳体内部限定出与至少一个电子器件适配的密闭容腔，所述壳体上设有连通所述密闭容腔的真空孔和气孔，所述壳体具有传导部，所述传导部的材质为耐高温材质，且所述传导部的一端与所述密闭容腔连通，另一端与外界连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市先进连接科技有限公司 气氛保护装置

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