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【实用新型】一种承载装置及具有该承载装置的检测设备_深圳中科飞测科技股份有限公司_202022683774.2 

申请/专利权人:深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日:2020-11-18

公开(公告)日:2021-06-08

公开(公告)号:CN213401145U

主分类号:H01L21/687(20060101)

分类号:H01L21/687(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.06.08#授权

摘要:本实用新型公开一种承载装置及具有该承载装置的检测设备,该承载装置包括承载盘,所述承载盘具有内外嵌套设置的胶膜吸附面和框架承载面,所述胶膜吸附面高于所述框架承载面,且所述胶膜吸附面内侧的承载盘具有下凹形成的待测物避让空间。通过优化改进该承载装置的安装固定结构,为确保待测物在检测过程中的稳定性提供了技术保障。当胶膜框架放置在该承载盘上时,高于框架承载面的胶膜吸附面构成对胶膜的支撑,与此同时,基于自重置于框架承载面上的框架完成对胶膜的向外全向抻拉,以及避让空间为位于胶膜中部的待测物提供了下落裕度,进一步形成对胶膜的向内全向抻拉,使得整个胶膜得以张紧,从而起到固定胶膜并保证待测物稳定性的作用。

主权项:1.一种承载装置,用于固定胶膜框架,其特征在于,包括承载盘,所述承载盘具有内外嵌套设置的胶膜吸附面和框架承载面,所述胶膜吸附面高于所述框架承载面,且所述胶膜吸附面内侧的承载盘具有下凹形成的待测物避让空间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种承载装置及具有该承载装置的检测设备

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