申请/专利权人:南京集芯光电技术研究院有限公司
申请日:2020-12-15
公开(公告)日:2021-06-08
公开(公告)号:CN213401127U
主分类号:H01L21/673(20060101)
分类号:H01L21/673(20060101);H01L21/67(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.06.08#授权
摘要:本发明公开了一种非对称晶圆清洗花篮,包括清洗花篮主体,所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽,所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配,便于晶圆插入晶圆限位槽中,所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角,清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构,所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。本发明提供的非对称晶圆清洗花篮,表面设置成倾斜状,液体在花篮表面无法停留,不会形成残留的液滴,提高安全性能。
主权项:1.一种非对称晶圆清洗花篮,包括清洗花篮主体,所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽,所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配,便于晶圆插入晶圆限位槽中,其特征在于:所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角,角度范围为10°-65°,清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构,所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。
全文数据:
权利要求:
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