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【实用新型】一种用于加工薄硅片的加工件_厦门陆远科技有限公司_202021632105.6 

申请/专利权人:厦门陆远科技有限公司

申请日:2020-08-07

公开(公告)日:2021-06-08

公开(公告)号:CN213380955U

主分类号:B24B37/10(20120101)

分类号:B24B37/10(20120101);B24B37/30(20120101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2021.06.08#授权

摘要:本实用新型公开了一种用于加工薄硅片的加工件,涉及硅片加工领域,包括辅助片和用于加工成薄硅片的第一硅片,第一硅片的第一端面通过双面胶或蜡层可拆卸地固定贴合于辅助片。作为优选,辅助片为第二硅片。本实用新型的有益效果:该加工件包括相互贴合的辅助片和用于加工成薄硅片的第一硅片,辅助片来保证加工件的整体厚度和强度,从而允许抛光机台或者其他研磨装置对该加工件加工时将第一硅片研磨的更加薄,保证第一硅片在加工过程中不会因厚度减薄而容易发生崩裂。

主权项:1.一种用于加工薄硅片的加工件,其特征在于:包括辅助片和用于加工成薄硅片的第一硅片,所述第一硅片的第一端面可拆卸地固定贴合于所述辅助片。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 厦门陆远科技有限公司 一种用于加工薄硅片的加工件

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