申请/专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司

申请日：2020-08-31

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213388883U

主分类号：C23C16/27(20060101)

分类号：C23C16/27(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种用于真空装置的液冷电极棒，其包括真空装置、电极棒本体、发热件固定部件和内芯管件，电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于电极棒本体的端部。流动的冷却液对电极棒本体深入冷却，能够加速冷却，冷却效果好，有效避免电极棒烧坏，延长电极棒的使用寿命，发热件固定部件安装于电极棒本体的上端，发热件通过发热件固定部件与电极棒本体连接，使得电极棒本体与发热件合理连接，实现稳定供电和均匀发热。

主权项：1.一种用于真空装置的液冷电极棒，包括真空装置以及设置于真空装置内的电极棒本体，其特征在于：还包括发热件固定部件和内芯管件，电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于电极棒本体的端部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东鼎泰机器人科技有限公司 一种用于真空装置的液冷电极棒

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