申请/专利权人：山东司莱美克新材料科技有限公司

申请日：2020-09-02

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN213388859U

主分类号：C23C14/02(20060101)

分类号：C23C14/02(20060101);C23C14/46(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.06.08#授权

摘要：本实用新型公开了清洗离子源挡板，包括离子源、第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一挡板和第二挡板，所述离子源的后侧面的两侧顶端分别固定安装有第一驱动气缸和第二驱动气缸，所述第一驱动气缸上转动安装有第一旋转轴，所述第二驱动气缸上转动安装有第二旋转轴。本实用新型通过加装第一挡板和第二挡板，在第一驱动气缸和第二驱动气缸的驱动下可发生偏转，将离子源完全遮蔽或者暴露，具有结构简单以及成本低廉的特点，能够有效保护离子源沟道免受污染，提高离子源的使用周期；通过设置第一锁块与第二锁块，在打开装置或闭合装置时，只需移动定位柱，就能使第一锁块与第二锁块分开或锁定，其结构巧妙，操作简单，能够防止挡板之间出现间隙。

主权项：1.清洗离子源挡板，其特征在于：包括离子源1、第一驱动气缸2、第二驱动气缸3、第一挡板9和第二挡板10，所述离子源1的后侧面的两侧顶端分别固定安装有第一驱动气缸2和第二驱动气缸3，所述第一驱动气缸2上转动安装有第一旋转轴4，所述第二驱动气缸3上转动安装有第二旋转轴5，所述第一旋转轴4的顶端固定连接有第一驱动连杆6，所述第二旋转轴5的顶端固定连接有第二驱动连杆7，所述第一挡板9和所述第二挡板10在相互远离的一侧均固定连接有连接条8，所述第一驱动连杆6通过第一挡板9上的连接条8与第一挡板9固定连接，所述第二驱动连杆7通过第二挡板10上的连接条8与第二挡板10固定连接，所述第一挡板9和所述第二挡板10在远离离子源1的同侧面相互靠近的一端分别固定安装有第一锁块11和第二锁块12，所述第一锁块11内滑动套接有定位柱13，所述第二锁块12上开有锁槽14。

全文数据：

权利要求：

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