申请/专利权人：东莞市新美洋技术有限公司

申请日：2021-03-17

公开（公告）日：2021-07-09

公开（公告）号：CN113084704A

主分类号：B24B41/06(20120101)

分类号：B24B41/06(20120101);B24B41/00(20060101);B24B41/02(20060101);B24B29/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.05.06#授权;2021.07.27#实质审查的生效;2021.07.09#公开

摘要：本发明涉及一种抛光冶具以及抛光装置，抛光冶具包括抛光夹具，所述抛光夹具上形成抛光口以及包裹所述抛光口设置的防护部，所述防护部用于包覆待抛光件的边缘区域，所述抛光口用于使待抛光件的抛光区域露出于所述的抛光夹具，所述防护部朝向所述抛光口中心的表面与待抛光件上形成于抛光区域与所述边缘区域之间的台阶区域的台阶轮廓边缘相抵。该抛光冶具通过设置抛光夹具，达到装夹待抛光件及避免抛光时待抛光件发生塌边的目的。

主权项：1.一种抛光冶具，其特征在于，包括抛光夹具，所述抛光夹具上形成抛光口以及包裹所述抛光口设置的防护部，所述防护部用于包覆待抛光件的边缘区域，所述抛光口用于使待抛光件的抛光区域露出于所述的抛光夹具，所述防护部与待抛光件上形成于抛光区域与所述边缘区域之间的台阶区域的台阶轮廓边缘相抵。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市新美洋技术有限公司 抛光冶具以及抛光装置

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