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【发明公布】一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法_中国科学院光电技术研究所_202110318218.1 

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

申请日:2021-03-25

公开(公告)日:2021-07-09

公开(公告)号:CN113091638A

主分类号:G01B11/24(20060101)

分类号:G01B11/24(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.06.28#授权;2021.07.27#实质审查的生效;2021.07.09#公开

摘要:本发明公开了一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法,属于光学检测领域。该方法通过控制反射镜的位移及偏转,记录光斑偏离位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系来对系统的回程误差进行标定。具体通过五维电控微位移台控制反射镜发生微位移,使反射镜反射的光斑在视场范围内进行规律移动,记录不同光斑位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系,然后进行曲面拟合。当载物台放置待测反射镜时,通过找到光斑位置来依据拟合得到的曲面求解Zernike多项式的各项系数,组合各阶像差即可得到反射镜在该位置的回程误差。此方法针对在高精度测量时,回程误差不能调零的情况,具有结构简单、精度较高、实用性强的优点。

主权项:1.一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置,其特征在于:所述装置包括:激光器1:用于产生高功率、稳频激光光束;非偏振分束器2:用于将进入待测镜所在部分系统的激光光束透射,将出射至成像透镜6的激光光束反射;参考透镜3:用于将部分光束反射成为参考光束,将部分光束透射至平面镜4,该参考透镜前表面与后表面有个很小的夹角,夹角范围3°~5°,这样可以保证前表面的反射光不参与干涉条纹的形成;平面镜4:用于标定系统的回程误差,光束经不同位移和偏转的平面镜反射回系统,经成像透镜成像后在探测器上形成不同位置的光斑;五维电控微位移台5:用于微调节平面镜4的平移和偏转;成像透镜6:用于将光线汇聚并在第一探测器7、第二探测器8两个探测器上形成光斑及干涉条纹;第一探测器7:用于记录光斑位置;第二探测器8:用于记录条纹形状。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院光电技术研究所 一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法

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