申请/专利权人：上海升翕光电科技有限公司

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113122803A

主分类号：C23C14/24(20060101)

分类号：C23C14/24(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本申请属于蒸镀技术领域，涉及一种蒸发源的加热装置和蒸镀设备。该蒸发源的加热装置，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。本申请将加热件呈“曲折”状态设置，使得加热件的加热更加均匀，加热效率更高，可以实现更大的加热功率和加热速率，提高了蒸发源内待蒸镀材料的加热效率和质量，提高蒸镀质量。

主权项：1.一种蒸发源的加热装置，其特征在于，包括加热件，所述加热件用于对蒸发源加热；所述加热件包括多个直线段加热件和多个圆弧段加热件，多个所述直线段加热件并排设置；相邻的两个所述直线段加热件通过所述圆弧段加热件相连。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海升翕光电科技有限公司 蒸发源的加热装置和蒸镀设备

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