申请/专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113124200A

主分类号：F16K11/085(20060101)

分类号：F16K11/085(20060101);F16K27/06(20060101);B08B9/023(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.09#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供一种排气装置，包括外管、内管、致动器及至少一冲洗液入口，其中，所述外管的侧壁设有多个排气口；所述内管容纳在所述外管内，所述内管的一端开口，另一端封闭，所述内管的侧壁设有至少一通孔；所述致动器与所述内管封闭的一端连接以驱动所述内管在所述外管内旋转以使所述内管的至少一所述通孔对上所述外管的一所述排气口以排出一种气体，与此同时，所述外管的其他所述排气口由所述内管的侧壁封闭；所述冲洗液入口设置于所述外管的侧壁，并面对所述内管的至少一部分外壁。本发明的排气装置便于清洗，操作简单，无需重新装配，可以节约工时，有利于提高生产效率。

主权项：1.一种排气装置，其特征在于，包括：外管，所述外管的侧壁设有多个排气口；内管，容纳在所述外管内，所述内管的一端开口，另一端封闭，所述内管的侧壁设有至少一通孔；致动器，与所述内管封闭的一端连接以驱动所述内管在所述外管内旋转以使所述内管的至少一所述通孔对上所述外管的一所述排气口以排出一种气体，与此同时，所述外管的其他所述排气口由所述内管的侧壁封闭；至少一冲洗液入口，设置于所述外管的侧壁，并面对所述内管的至少一部分外壁。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 一种排气装置

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